[实用新型]扩散陶瓷吸盘

摘要

本实用新型涉及一种真空吸盘设备领域，尤其涉及一种扩散陶瓷吸盘，包括吸盘和固定板，所述吸盘和固定板上都设置有固定孔，所述吸盘通过固定孔固定在固定板上，所述吸盘上设置有吸附腔体，所述吸附腔体上设置有真空孔，所述吸盘底部为凹槽结构，所述凹槽结构包括第一凹槽和第二凹槽，所述第二凹槽位于第一凹槽内，所述第一凹槽上设置有挡板，所述第一凹槽与真空孔相通形成真空管路，所述固定板与吸盘接触的一面上设置有分片管道，通过把吸附真空管路与硅片分离管路集成在一个整体内部，使得硅片的吸附和分离同时进行，达到了提高工作效率的效果。