[实用新型]扩散陶瓷吸盘有效
| 申请号： | 201922419949.6 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN211970996U | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 沈威 | 申请（专利权）人： | 苏州诚拓机械设备有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91 |
| 代理公司： | 苏州通途佳捷专利代理事务所(普通合伙) 32367 | 代理人： | 翁德亿 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扩散 陶瓷 吸盘 | ||
【权利要求书】：
1.一种扩散陶瓷吸盘，包括吸盘(1)和固定板(2)，所述吸盘(1)和固定板(2)上都设置有固定孔(3)，所述吸盘(1)通过固定孔(3)固定在固定板(2)上，其特征在于：所述吸盘(1)上设置有吸附腔体(4)，所述吸附腔体(4)上设置有真空孔(5)，所述吸盘(1)底部为凹槽结构，所述凹槽结构包括第一凹槽(11)和第二凹槽(12)，所述第二凹槽(12)位于第一凹槽(11)内，所述第一凹槽(11)上设置有挡板(13)，所述第一凹槽(11)与真空孔(5)相通形成真空管路，所述固定板(2)与吸盘(1)接触一面上设置有分片管道(21)。
2.如权利要求1所述的扩散陶瓷吸盘，其特征在于：所述吸盘(1)远离固定板(2)一端具有硅片导向角(6)。
3.如权利要求1所述的扩散陶瓷吸盘，其特征在于：所述吸盘(1)的材料可为陶瓷或PEEK。
4.如权利要求1所述的扩散陶瓷吸盘，其特征在于：所述吸盘(1)上设置的吸附腔体(4)为多个。
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