[实用新型]扩散陶瓷吸盘

说明书

本实用新型涉及一种真空吸盘设备领域，尤其涉及一种扩散陶瓷吸盘，包括吸盘和固定板，所述吸盘和固定板上都设置有固定孔，所述吸盘通过固定孔固定在固定板上，所述吸盘上设置有吸附腔体，所述吸附腔体上设置有真空孔，所述吸盘底部为凹槽结构，所述凹槽结构包括第一凹槽和第二凹槽，所述第二凹槽位于第一凹槽内，所述第一凹槽上设置有挡板，所述第一凹槽与真空孔相通形成真空管路，所述固定板与吸盘接触的一面上设置有分片管道，通过把吸附真空管路与硅片分离管路集成在一个整体内部，使得硅片的吸附和分离同时进行，达到了提高工作效率的效果。

技术领域

本实用新型涉及一种真空吸盘设备领域，尤其涉及一种扩散陶瓷吸盘。

背景技术

现有技术中，通过真空发生器产生真空对硅片进行吸附，对硅片的分离采用另一个装置实现，两种技术不能同时进行，浪费人力物力，降低了工作效率。

实用新型内容

本实用新型解决的技术问题是提供一种扩散陶瓷吸盘，吸附真空管路与硅片分离管路集成在一个整体内部，使得硅片的吸附和分离同时进行，达到了提高工作效率的效果。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种扩散陶瓷吸盘，包括吸盘和固定板，所述吸盘和固定板上都设置有固定孔，所述吸盘通过固定孔固定在固定板上，所述吸盘上设置有吸附腔体，所述吸附腔体上设置有真空孔，所述吸盘底部为凹槽结构，所述凹槽结构包括第一凹槽和第二凹槽，所述第二凹槽位于第一凹槽内，所述第一凹槽上设置有挡板，所述第一凹槽与真空孔相通形成真空管路，所述固定板与吸盘接触的一面上设置有分片管道。

进一步的是：所述吸盘远离固定板一端具有硅片导向角。

进一步的是：所述吸盘的材料可为陶瓷或PEEK。

进一步的是：所述吸盘上设置的吸附腔体为多个。

本实用新型的有益效果是：通过把吸附真空管路与硅片分离管路集成在一个整体内部，使得硅片的吸附和分离同时进行，达到了提高工作效率的效果。

附图说明

图1为扩散陶瓷吸盘正式图。

图2为扩散陶瓷吸盘侧视图。

图3为扩散陶瓷吸盘后视图。

图4为扩散陶瓷吸盘俯视图。

图中标记为：吸盘1、第一凹槽11、第二凹槽12、固定板2、分片管道21、固定孔3、吸附腔体4、真空孔5、硅片导向角6。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明。

如图1到4所示，一种扩散陶瓷吸盘，包括吸盘1和固定板2，所述吸盘1和固定板2上都设置有固定孔3，所述吸盘1通过固定孔3固定在固定板2上，所述吸盘1上设置有吸附腔体4，所述吸附腔体4上设置有真空孔5，所述吸盘1底部为凹槽结构，所述凹槽结构包括第一凹槽11和第二凹槽12，所述第二凹槽12位于第一凹槽11内，所述第一凹槽11上设置有挡板13，所述第一凹槽11与真空孔5相通形成真空管路，所述固定板2与吸盘1接触一面上设置有分片管道21。

在扩散陶瓷吸盘工作时，通过对吸附腔体4上设置的真空孔5对吸附腔体4内的空气进行抽空，使得吸附腔体4内形成真空腔体实现对硅片的吸附，同时压缩空气进入固定板2与吸盘1接触一面上设置的分片管道21内实现对硅片进行分片处理，通过把吸附真空管路与硅片分离管路集成在一个整体内部，使得硅片的吸附和分离同时进行，达到了提高工作效率的效果。

在此基础上，如图2所示，所述吸盘1远离固定板2一端具有硅片导向角6，具有导向角6的扩散陶瓷吸盘在使用时更方便，达到了提高工作效率的效果。