[实用新型]一种新型射频离子源有效
| 申请号： | 201922419071.6 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN210837644U | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 施春燕 | 申请（专利权）人： | 苏州至臻精密光学有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02;H01J1/94 |
| 代理公司： | 合肥华利知识产权代理事务所(普通合伙) 34170 | 代理人： | 杨春女 |
| 地址： | 215600 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型射频离子源，具体涉及离子源技术领域，包括底座，所述底座顶部开设有第一滑槽，所述第一滑槽内滑动连接有两个滑块，所述滑块顶部固定连接有滑杆，所述滑杆外侧壁滑动连接有滑套，所述滑套外壁嵌设有固定座，所述固定座内腔两侧均开设有第二滑槽，且两侧第二滑槽内滑动连接有滑板。本实用新型通过设置夹持板和吸热座，射频离子源本体固定在夹持板内腔，吸热的减震垫能够将热量导入夹持板和吸热座内，两侧的吸热座将热量通过导热柱导入散热片内，空气流动带走散热片表面的热量，从而能够有效避免热量的堆积，与现有技术相比保证了射频离子源本体工作状态的稳定性，满足了使用需要。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 射频 离子源 | ||
【主权项】：
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