[实用新型]一种新型射频离子源

说明书

本实用新型公开了一种新型射频离子源，具体涉及离子源技术领域，包括底座，所述底座顶部开设有第一滑槽，所述第一滑槽内滑动连接有两个滑块，所述滑块顶部固定连接有滑杆，所述滑杆外侧壁滑动连接有滑套，所述滑套外壁嵌设有固定座，所述固定座内腔两侧均开设有第二滑槽，且两侧第二滑槽内滑动连接有滑板。本实用新型通过设置夹持板和吸热座，射频离子源本体固定在夹持板内腔，吸热的减震垫能够将热量导入夹持板和吸热座内，两侧的吸热座将热量通过导热柱导入散热片内，空气流动带走散热片表面的热量，从而能够有效避免热量的堆积，与现有技术相比保证了射频离子源本体工作状态的稳定性，满足了使用需要。

技术领域

本实用新型涉及离子源技术领域，更具体地说，本实用涉及一种新型射频离子源。

背景技术

离子源是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。

现有的离子源在工作时会产生大量热量，而热量堆积在元件内会导致工作状态的不稳定，同时在对射频离子源固定时没有很好的减震效果，这就导致工作时的晃动会产生较大的噪音，影响到射频离子源工作环境。

实用新型内容

为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型的实施例提供一种新型射频离子源，本实用新型所要解决的技术问题是：如何提高对射频离子源本体固定的稳定性。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型射频离子源，包括底座，所述底座顶部开设有第一滑槽，所述第一滑槽内滑动连接有两个滑块，所述滑块顶部固定连接有滑杆，所述滑杆外侧壁滑动连接有滑套，所述滑套外壁嵌设有固定座，所述固定座内腔两侧均开设有第二滑槽，且两侧第二滑槽内滑动连接有滑板，所述滑板底部与滑杆顶端固定连接，所述滑杆外侧壁套设有弹簧，所述弹簧两端分别与滑套和滑板对应位置固定连接；

所述固定座顶部固定连接有夹持板，且两侧夹持板内腔放置有射频离子源本体，所述夹持板顶部固定连接有固定块，所述固定块一侧开设有通孔，且两侧通孔内卡接有螺纹柱，所述螺纹柱另一侧螺纹连接有螺母，所述螺母与固定块一侧相贴合，所述夹持板一侧固定连接有吸热座，所述吸热座一侧固定连接有若干导热柱，所述导热柱外壁嵌设有若干散热片。

射频离子源本体固定在夹持板内腔，且两侧夹持板通过两侧固定座以及底部滑块在第一滑槽内滑动适配射频离子源本体的直径，并且通过在夹持板顶部固定块通孔内插入螺纹柱，且螺纹柱末端螺纹连接的螺母对两侧固定块进行限位，从而能够对两侧夹持板进行限位固定，当射频离子源本体发生晃动时，射频离子源本体晃动固定座向上带动滑板在第二滑槽内滑动拉动滑套，滑套在滑杆外滑动挤压弹簧，弹簧利用自身弹力降低固定座以及夹持板的晃动，从而能够有效减少射频离子源本体工作产生的噪音，并且当射频离子源本体工作产热时，吸热的减震垫能够将热量导入夹持板和吸热座内，两侧的吸热座将热量通过导热柱导入散热片内，空气流动带走散热片表面的热量，从而能够有效避免热量的堆积，保证了射频离子源本体工作状态的稳定性，满足了使用需要。

在一个优选的实施方式中，所述夹持板横截面形状为半圆弧形，适配性更好。

在一个优选的实施方式中，所述夹持板内腔固定连接有减震垫，所述减震垫与射频离子源本体相贴合，保证贴合同时将热量传导。

在一个优选的实施方式中，所述减震垫为导热塑胶垫。

在一个优选的实施方式中，所述第一滑槽和滑块的轴截面形状均为T形，避免固定时固定座和夹持板与底座分离。

在一个优选的实施方式中，所述散热片和导热柱均为吸热铜制构件，保证热量传导。

在一个优选的实施方式中，所述吸热座为吸热铜制构件。

在一个优选的实施方式中，所述滑套和滑杆均为圆形。