[实用新型]一种新型射频离子源

权利要求书

1.一种新型射频离子源，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)顶部开设有第一滑槽(2)，所述第一滑槽(2)内滑动连接有两个滑块(3)，所述滑块(3)顶部固定连接有滑杆(16)，所述滑杆(16)外侧壁滑动连接有滑套(18)，所述滑套(18)外壁嵌设有固定座(4)，所述固定座(4)内腔两侧均开设有第二滑槽(14)，且两侧第二滑槽(14)内滑动连接有滑板(15)，所述滑板(15)底部与滑杆(16)顶端固定连接，所述滑杆(16)外侧壁套设有弹簧(17)，所述弹簧(17)两端分别与滑套(18)和滑板(15)对应位置固定连接；

所述固定座(4)顶部固定连接有夹持板(5)，且两侧夹持板(5)内腔放置有射频离子源本体(19)，所述夹持板(5)顶部固定连接有固定块(10)，所述固定块(10)一侧开设有通孔(11)，且两侧通孔(11)内卡接有螺纹柱(12)，所述螺纹柱(12)另一侧螺纹连接有螺母(13)，所述螺母(13)与固定块(10)一侧相贴合，所述夹持板(5)一侧固定连接有吸热座(7)，所述吸热座(7)一侧固定连接有若干导热柱(9)，所述导热柱(9)外壁嵌设有若干散热片(8)。

2.根据权利要求1所述的一种新型射频离子源，其特征在于：所述夹持板(5)横截面形状为半圆弧形。

3.根据权利要求1所述的一种新型射频离子源，其特征在于：所述夹持板(5)内腔固定连接有减震垫(6)，所述减震垫(6)与射频离子源本体(19)相贴合。

4.根据权利要求3所述的一种新型射频离子源，其特征在于：所述减震垫(6)为导热塑胶垫。

5.根据权利要求1所述的一种新型射频离子源，其特征在于：所述散热片(8)和导热柱(9)均为吸热铜制构件。

6.根据权利要求1所述的一种新型射频离子源，其特征在于：所述第一滑槽(2)和滑块(3)的轴截面形状均为T形。

7.根据权利要求1所述的一种新型射频离子源，其特征在于：所述吸热座(7)为吸热铜制构件。

8.根据权利要求1所述的一种新型射频离子源，其特征在于：所述滑套(18)和滑杆(16)均为圆形。