[实用新型]用于并行测试机台的针座装置有效
| 申请号： | 201922414998.0 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN211652958U | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 王雅静;尹彬峰;吴奇伟 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 罗雅文 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种用于并行测试机台的针座装置，涉及半导体测试领域。该针座装置至少包括接线盒、接线面板、探针卡面板、两组接线柱和两组转换柱；两组接线柱设置在接线面板上；接线盒内设置有两组转换柱，第1组转换柱与第2组转换柱连接；第1组转换柱与探针卡面板连接；第2组转换柱中的第i个转换柱与第1组接线柱中的第i个接线柱、第2组接线柱中的第j个接线柱分别连接，i＝1,2，……,n；j＝1,2，……,n；i+j＝n+1；解决了现有的针座装置需要使用两类探针卡，使用成本高的问题；并行测试机台上使用本申请实施例提供的针座装置，可以只采用一类探针卡，达到提高探针卡的通用性和利用率，降低成本的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 并行 测试 机台 装置 | ||
【主权项】：
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