[实用新型]用于并行测试机台的针座装置

说明书

本申请公开了一种用于并行测试机台的针座装置，涉及半导体测试领域。该针座装置至少包括接线盒、接线面板、探针卡面板、两组接线柱和两组转换柱；两组接线柱设置在接线面板上；接线盒内设置有两组转换柱，第1组转换柱与第2组转换柱连接；第1组转换柱与探针卡面板连接；第2组转换柱中的第i个转换柱与第1组接线柱中的第i个接线柱、第2组接线柱中的第j个接线柱分别连接，i＝1,2，……,n；j＝1,2，……,n；i+j＝n+1；解决了现有的针座装置需要使用两类探针卡，使用成本高的问题；并行测试机台上使用本申请实施例提供的针座装置，可以只采用一类探针卡，达到提高探针卡的通用性和利用率，降低成本的效果。

技术领域

本申请涉及半导体测试领域，具体涉及一种用于并行测试机台的针座装置。

背景技术

在并行测试机台中，通过特定的针座装置将多块探针卡固定在并行测试机台上。针座装置上设置有接线柱，针座装置的内部设置有导线，当探针卡与针座装置连接时，通过针座装置内部的导线将接线柱与探针卡上的探针引脚连接。

目前，为了分散且更多地测试晶圆上的测试结构，并行测试机台上的针座装置面对面设置。如图1所示，针座装置14上包括接线柱15，针座装置14连接探针卡，探针卡包括探针引脚16。从图1可以看出，上半部分11中的针座装置14和下半部分12中的针座装置14面对面，属于上半部分11的针座装置14上的探针引脚16与属于下半部分12的针座装置14上的探针引脚16相对。

如图2所示，属于上半部分的针座装置21上的接线柱211与属于下半部分的针座装置22上的接线柱221对称。由于探针卡与探针装置连接时，需要令接线柱和探针引脚一一对应，故，连接针座装置21的探针卡24与连接针座装置22的探针25对称，探针卡24的探针引脚241与探针卡25的探针引脚251对称。一般情况下，测试结构23上的测试焊盘从左向右排布，在测试时，上下两个部分的针座装置连接的探针卡的探针引脚都需要与测试结构上的测试焊盘一一对应，因此，用于上半部分的探针卡不能用于下半部分的针座装置，用于下半部分的探针卡也不能用于上半部分的针座装置。

实用新型内容

本申请提供了一种用于并行测试机台的针座装置，可以解决相关技术中并行测试机台需使用两类探针卡的问题。

一方面，本申请实施例提供了一种用于并行测试机台的针座装置，至少包括接线盒、接线面板、探针卡面板、两组接线柱和两组转换柱；

接线面板和探针卡面板设置在接线盒的两侧，两组接线柱设置在接线面板上；

接线盒内设置有两组转换柱，第1组转换柱与第2组转换柱连接；

第1组转换柱与探针卡面板连接；

第2组转换柱中的第i个转换柱与第1组接线柱中的第i个接线柱、第2组接线柱中的第j个接线柱分别连接，

其中，i＝1,2，……,n；j＝1,2，……,n；i+j＝n+1；n表示接线柱的数量，n为整数。

可选的，每组转换柱数量相等；

第1组转换柱与第2组转换柱一一对应连接。

可选的，每组转换柱数量相等，第1组转换柱与第2组转换柱一一对应连接，每对转换柱之间连接有电阻。

可选的，电阻的阻值范围为100欧姆至1000欧姆。

可选的，探针卡面板上设置有接插件，接插件包括至少n个引脚；

第1组转换柱中的每个接线柱连接探针卡面板上的一个引脚。

可选的，当探针卡的探针引脚顺序与接线柱顺序相同时，第1组接线柱连接量测单元；

当探针卡的探针引脚顺序与接线柱顺序相反时，第2组接线柱连接量测单元。