[实用新型]用于并行测试机台的针座装置有效

专利信息
申请号: 201922414998.0 申请日: 2019-12-27
公开(公告)号: CN211652958U 公开(公告)日: 2020-10-09
发明(设计)人: 王雅静;尹彬峰;吴奇伟 申请(专利权)人: 上海华力集成电路制造有限公司
主分类号: G01R1/073 分类号: G01R1/073;G01R31/26
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 罗雅文
地址: 201203*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 用于 并行 测试 机台 装置
【权利要求书】:

1.一种用于并行测试机台的针座装置,其特征在于,至少包括接线盒、接线面板、探针卡面板、两组接线柱和两组转换柱;

所述接线面板和所述探针卡面板设置在所述接线盒的两侧,所述两组接线柱设置在所述接线面板上;

所述接线盒内设置有所述两组转换柱,第1组转换柱与第2组转换柱连接;

所述第1组转换柱与所述探针卡面板连接;

所述第2组转换柱中的第i个转换柱与第1组接线柱中的第i个接线柱、第2组接线柱中的第j个接线柱分别连接,

其中,i=1,2,……,n;j=1,2,……,n;i+j=n+1;n表示接线柱的数量,n为整数。

2.根据权利要求1所述的用于并行测试机台的针座装置,其特征在于,每组转换柱数量相等;

所述第1组转换柱与所述第2组转换柱一一对应连接。

3.根据权利要求1所述的用于并行测试机台的针座装置,其特征在于,所述第1组转换柱和所述第2组转换柱之间连接有电阻。

4.根据权利要求3所述的用于并行测试机台的针座装置,其特征在于,每组转换柱数量相等,所述第1组转换柱与所述第2组转换柱一一对应连接,每对转换柱之间连接有电阻。

5.根据权利要求3或4所述的用于并行测试机台的针座装置,其特征在于,所述电阻的阻值范围为100欧姆至1000欧姆。

6.根据权利要求1所述的用于并行测试机台的针座装置,其特征在于,所述探针卡面板上设置有接插件,所述接插件包括至少n个引脚;

所述第1组转换柱中的每个接线柱连接所述探针卡面板上的一个引脚。

7.根据权利要求1所述的用于并行测试机台的针座装置,其特征在于,当所述探针卡的探针引脚顺序与接线柱顺序相同时,所述第1组接线柱连接量测单元;

当所述探针卡的探针引脚顺序与接线柱顺序相反时,所述第2组接线柱连接所述量测单元。

8.根据权利要求1所述的用于并行测试机台的针座装置,其特征在于,n=12。

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