[实用新型]一种研磨机用调心和调高机构有效
| 申请号： | 201922388794.4 | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN211589538U | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 高兴森;李向超 | 申请（专利权）人： | 江苏微影智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06;B24B55/00;B24B47/06 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂启新 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种研磨机用调心和调高机构，包括立板，立板的上方设置视觉系统组件，立板的前端设置用于执行Y轴和Z轴方向运动的移动组件和用于确定运动零点的传感器组件，移动组件上部衔接有与其配合的焊针固定组件，立板的后端设置用于执行X轴方向运动的直线运动模块。本实用新型增加视觉系统组件可根据Z轴方向视觉系统调整焊针X/Y轴位置，或根据Y轴方向视觉系统调整焊针X/Z轴位置，通过所述两套视觉系统反馈方式实现焊针在三个方向X/Y/Z上的精确位置调节，保证后续研磨加工的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨机 用调心 机构 | ||
【主权项】：
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