[实用新型]一种研磨机用调心和调高机构有效
申请号: | 201922388794.4 | 申请日: | 2019-12-26 |
公开(公告)号: | CN211589538U | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 高兴森;李向超 | 申请(专利权)人: | 江苏微影智能装备有限公司 |
主分类号: | B24B9/06 | 分类号: | B24B9/06;B24B55/00;B24B47/06 |
代理公司: | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人: | 聂启新 |
地址: | 214000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 研磨机 用调心 机构 | ||
1.一种研磨机用调心和调高机构,其特征在于:包括立板(2),所述立板(2)的上方设置视觉系统组件(1),所述立板(2)的前端设置用于执行Y轴和Z轴方向运动的移动组件和用于确定运动零点的传感器组件(4),所述移动组件上部衔接有与其配合的焊针固定组件(3),所述立板(2)的后端设置用于执行X轴方向运动的直线运动模块(201)。
2.如权利要求1所述的一种研磨机用调心和调高机构,其特征在于:所述移动组件包括平行间隔设置于立板(2)前端下部的第一驱动组件(5)和第二驱动组件(8),所述第一驱动组件(5)位于第二驱动组件(8)下方,所述第一驱动组件(5)和第二驱动组件(8)的一旁分别设置第一滑台(6)和第二滑台(7),所述第一驱动组件(5)通过第一滑台(6)连接立板(2),第二驱动组件(8)通过第二滑台(7)连接立板(2)。
3.如权利要求2所述的一种研磨机用调心和调高机构,其特征在于:第一驱动组件(5)的结构为:包括左右间隔设置的第三固定板(506)和第一惰轮支架(501),所述第三固定板(506)的后端安装第一驱动电机(508),所述第一驱动电机(508)的输出轴穿过第三固定板(506),并在所述第三固定板(506)的前端面安装第二惰轮(507),所述第一惰轮支架(501)固接于立板(2)的一侧,所述第一惰轮支架(501)上与第二惰轮(507)平行安装第一惰轮(502),所述第二惰轮(507)和第一惰轮(502)之间设置第一从动轮(504),所述第一从动轮(504)也与第二惰轮(507)平行,所述第一从动轮(504)分别通过第一皮带(503)和第二皮带(505)连接第一惰轮(502)和第二惰轮(507);第二驱动组件(8)的结构为:包括左右间隔设置的第五固定板(806)和第二惰轮支架(801),所述第五固定板(806)的后端安装第二驱动电机(808),所述第二驱动电机(808)的输出轴穿过第五固定板(806),并在所述第五固定板(806)的前端面安装第四惰轮(807),所述第二惰轮支架(801)固接于立板(2)的一侧,所述第二惰轮支架(801)上与第四惰轮(807)平行安装第三惰轮(802),所述第四惰轮(807)和第三惰轮(802)之间设置第二从动轮(804),所述第二从动轮(804)也与第四惰轮(807)平行,所述第二从动轮(804)分别通过第三皮带(803)和第四皮带(805)连接第三惰轮(802)和第四惰轮(807);所述第一驱动电机(508)底部固接第四固定板(509),第二驱动电机(808)顶部固接第六固定板(809),所述第一驱动电机(508)和第二驱动电机(808)分别通过第四固定板(509)和第六固定板(809)安装至第一转接板(9),形成一体式结构的移动组件。
4.如权利要求1所述的一种研磨机用调心和调高机构,其特征在于:所述焊针固定组件(3)包括设置于立板(2)前端上部的固定支架(302),所述固定支架(302)顶部插接焊针(301),所述固定支架(302)的底部沿Z轴方向向下延伸形成阶梯状的固定轴(303),所述固定轴(303)外周套接轴套(304),所述轴套(304)底部连接第一固定板(305),所述轴套(304)下方安装有用于固接轴套(304)和固定轴(303)的锁紧螺钉(306),所述第一固定板(305)的底面两端固接垂直设置的支撑板(307),
各支撑板(307)与第二滑台(7)的顶面之间还设置第二固定板(308),所述焊针固定组件(3)通过第二固定板(308)与移动组件衔接形成一体式结构;
所述轴套(304)的中下部设置法兰(3041),所述轴套(304)通过法兰(3041)固接于第一固定板(305)顶面,所述第一固定板(305)上还开设供轴套(304)底部穿过的通孔。
5.如权利要求1所述的一种研磨机用调心和调高机构,其特征在于:所述视觉系统组件(1)包括Z轴方向视觉系统(101)和Y轴方向视觉系统(102),所述Z轴方向视觉系统(101)沿Z轴方向设置于焊针固定组件(3)的上方,所述Y轴方向视觉系统(102)沿Y轴方向设置于焊针固定组件(3)的后方。
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