[实用新型]一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置有效
| 申请号： | 201922388200.X | 申请日： | 2019-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN211595780U | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 盛立远 | 申请（专利权）人： | 北京大学深圳研究院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳市深可信专利代理有限公司 44599 | 代理人： | 万永泉 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市高新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置，包括基座及主转轴，主转轴上固定设置有承载架，承载架一端设置有可径向转动的第一中间转轴及第一丝辊转轴，承载架另一端设置有可径向转动的第二中间转轴及第二丝辊转轴，第一中间转轴外端与基座之间设置有第一齿轮传动组件，第二中间转轴外端与基座之间设置有第二齿轮传动组件，第一中间转轴与第一丝辊转轴之间设置有第三齿轮传动组件，第二中间转轴与第二丝辊转轴之间设置有第四齿轮传动组件，第一丝辊转轴上设置有第一丝辊，第二丝辊转轴上设置有第二丝辊。该种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置具有结构简单、性能稳定可靠、加工效率高、加工质量好、丝材表面涂层一致性高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 涂层 磁控溅射 连续 沉积 装置 | ||
【主权项】：
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