[实用新型]一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置有效
申请号: | 201922388200.X | 申请日: | 2019-12-26 |
公开(公告)号: | CN211595780U | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 盛立远 | 申请(专利权)人: | 北京大学深圳研究院 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/56 |
代理公司: | 深圳市深可信专利代理有限公司 44599 | 代理人: | 万永泉 |
地址: | 518000 广东省深圳市高新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 表面 涂层 磁控溅射 连续 沉积 装置 | ||
1.一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置,其特征在于:包括基座(1)及主转轴(11),所述主转轴(11)上固定设置有承载架(2),所述承载架(2)一端设置有可径向转动的第一中间转轴(31)及第一丝辊转轴(41),承载架(2)另一端设置有可径向转动的第二中间转轴(32)及第二丝辊转轴(42),所述第一中间转轴(31)外端与基座(1)之间设置有第一齿轮传动组件,所述第二中间转轴(32)外端与基座(1)之间设置有第二齿轮传动组件,第一中间转轴(31)与第一丝辊转轴(41)之间设置有第三齿轮传动组件,第二中间转轴(32)与第二丝辊转轴(42)之间设置有第四齿轮传动组件,所述第一丝辊转轴(41)上设置有第一丝辊(51),所述第二丝辊转轴(42)上设置有第二丝辊(52)。
2.根据权利要求1所述的一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置,其特征在于:所述第一中间转轴(31)通过第一转轴轴承(311)安装在承载架(2)上,所述承载架(2)上开设有用于安装所述第一转轴轴承(311)的第一轴承阶梯安装位(312),所述第一转轴轴承(311)安装在所述第一轴承阶梯安装位(312)后,第一转轴轴承(311)的外圈固定于第一轴承阶梯安装位(312)中,第一转轴轴承(311)内圈与第一中间转轴(31)侧壁固定连接,所述承载架(2)侧部设置有用于固定第一转轴轴承(311)的第一轴承压板(313),所述第一轴承压板(313)通过第一轴承压板螺栓(314)固定在承载架(2)侧部,第一轴承压板(313)的内沿压紧在第一转轴轴承(311)的外圈并将第一转轴轴承(311)限位在第一轴承阶梯安装位(312)中;
所述第二中间转轴(32)通过第二转轴轴承(321)安装在承载架(2)上,所述承载架(2)上开设有用于安装所述第二转轴轴承(321)的第二轴承阶梯安装位(322),所述第二转轴轴承(321)安装在所述第二轴承阶梯安装位(322)后,第二转轴轴承(321)的外圈固定于第二轴承阶梯安装位(322)中,第二转轴轴承(321)内圈与第二中间转轴(32)侧壁固定连接,所述承载架(2)侧部设置有用于固定第二转轴轴承(321)的第二轴承压板(323),所述第二轴承压板(323)通过第二轴承压板螺栓(324)固定在承载架(2)侧部,第二轴承压板(323)的内沿压紧在第二转轴轴承(321)的外圈并将第二转轴轴承(321)限位在第二轴承阶梯安装位(322)中。
3.根据权利要求1所述的一种丝材表面涂层磁控溅射连续沉积用装置,其特征在于:所述承载架(2)上部向内延伸有承载架第一上折板(21)及承载架第一下折板(23),所述承载架第一上折板(21)上开设有第一丝辊轴上安装孔,所述第一丝辊轴上安装孔中设置有第一丝辊轴上轴承(411),所述第一丝辊转轴(41)的上端固定安装在第一丝辊轴上轴承(411)的内圈,所述承载架第一上折板(21)上壁设置有第一上盖板(412),所述第一上盖板(412)通过第一上盖板固定螺栓(413)固定在承载架第一上折板(21)上壁;所述承载架第一下折板(23)上开设有第一丝辊轴下安装孔,所述第一丝辊轴下安装孔中设置有第一丝辊轴下轴承(414),所述第一丝辊转轴(41)的下端固定安装在第一丝辊轴下轴承(414)的内圈,所述承载架第一下折板(23)下壁设置有第一下盖板(415),所述第一下盖板(415)通过第一下盖板固定螺栓(416)固定在承载架第一下折板(23)下壁;
所述承载架(2)上部向内延伸有承载架第二上折板(22)及承载架第二下折板(24),所述承载架第二上折板(22)上开设有第二丝辊轴上安装孔,所述第二丝辊轴上安装孔中设置有第二丝辊轴上轴承(421),所述第二丝辊转轴(42)的上端固定安装在第二丝辊轴上轴承(421)的内圈,所述承载架第二上折板(22)上壁设置有第二上盖板(422),所述第二上盖板(422)通过第二上盖板固定螺栓(423)固定在承载架第二上折板(22)上壁;所述承载架第二下折板(24)上开设有第二丝辊轴下安装孔,所述第二丝辊轴下安装孔中设置有第二丝辊轴下轴承(424),所述第二丝辊转轴(42)的下端固定安装在第二丝辊轴下轴承(424)的内圈,所述承载架第二下折板(24)下壁设置有第二下盖板(425),所述第二下盖板(425)通过第二下盖板固定螺栓(426)固定在承载架第二下折板(24)下壁。
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