[实用新型]一种用于高真空镀膜机的冷却装置有效
| 申请号： | 201922354327.X | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN211367704U | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 颜见锋 | 申请（专利权）人： | 苏州市唯嘉光学有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 赵瑞鹏 |
| 地址： | 215107 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于高真空镀膜机的冷却装置，涉及镀膜机冷却技术领域，包括风冷式热交换器、水箱、水泵和输水管道，所述水箱的第一出口通过输水管道与风冷式热交换器入口连接，所述风冷式热交换器出口通过输水管道与所述水箱的第一入口连接；所述水箱的第二出口通过输水管道与所述水泵入口连接，所述水泵出口通过输水管道与高真空镀膜机冷却系统入口连接，高真空镀膜机冷却系统出口通过输水管道与所述水箱第二入口连接；本实用新型通过引入风冷式热交换器，大幅降低了高真空镀膜机冷却装置的能耗，节约能源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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