[实用新型]一种用于高真空镀膜机的冷却装置有效
申请号: | 201922354327.X | 申请日: | 2019-12-24 |
公开(公告)号: | CN211367704U | 公开(公告)日: | 2020-08-28 |
发明(设计)人: | 颜见锋 | 申请(专利权)人: | 苏州市唯嘉光学有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22 |
代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 赵瑞鹏 |
地址: | 215107 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 真空镀膜 冷却 装置 | ||
1.一种用于高真空镀膜机的冷却装置,其特征在于,包括风冷式热交换器、水箱、水泵和输水管道,所述水箱的第一出口通过输水管道与风冷式热交换器入口连接,所述风冷式热交换器出口通过输水管道与所述水箱的第一入口连接;所述水箱的第二出口通过输水管道与所述水泵入口连接,所述水泵出口通过输水管道与高真空镀膜机冷却系统入口连接,高真空镀膜机冷却系统出口通过输水管道与所述水箱第二入口连接。
2.根据权利要求1所述的用于高真空镀膜机的冷却装置,其特征在于,所述水箱为保温水箱。
3.根据权利要求2所述的用于高真空镀膜机的冷却装置,其特征在于,所述水箱为双层不锈钢保温水箱。
4.根据权利要求3所述的用于高真空镀膜机的冷却装置,其特征在于,所述风冷式热交换器的功率为10匹。
5.根据权利要求4所述的用于高真空镀膜机的冷却装置,其特征在于,所述水泵为高压水泵,所述高压水泵的功率为1.5KW。
6.根据权利要求5所述的用于高真空镀膜机的冷却装置,其特征在于,所述水泵数量为2台。
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