[实用新型]一种用于高真空镀膜机的冷却装置

说明书

本实用新型公开了一种用于高真空镀膜机的冷却装置，涉及镀膜机冷却技术领域，包括风冷式热交换器、水箱、水泵和输水管道，所述水箱的第一出口通过输水管道与风冷式热交换器入口连接，所述风冷式热交换器出口通过输水管道与所述水箱的第一入口连接；所述水箱的第二出口通过输水管道与所述水泵入口连接，所述水泵出口通过输水管道与高真空镀膜机冷却系统入口连接，高真空镀膜机冷却系统出口通过输水管道与所述水箱第二入口连接；本实用新型通过引入风冷式热交换器，大幅降低了高真空镀膜机冷却装置的能耗，节约能源。

技术领域

本实用新型涉及镀膜机冷却技术领域，特别涉及一种用于高真空镀膜机的冷却装置。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积等很多种。

高真空镀膜机还可用于光学薄膜的生产，真空镀膜机运行中冷却水是必不可少的，高真空泵(尤其是扩散泵)、真空室、电子枪等部件均需要用冷却水来冷却。现有技术中，真空镀膜机的冷却系统存在较高的能耗，造成了极大的能源浪费。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种用于高真空镀膜机的冷却装置，在提升冷却效率的同时，节约能源，降低镀膜机的运行成本。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案如下：

本实用新型提供一种用于高真空镀膜机的冷却装置，包括风冷式热交换器、水箱、水泵和输水管道，所述水箱的第一出口通过输水管道与风冷式热交换器入口连接，所述风冷式热交换器出口通过输水管道与所述水箱的第一入口连接；所述水箱的第二出口通过输水管道与所述水泵入口连接，所述水泵出口通过输水管道与高真空镀膜机冷却系统入口连接，高真空镀膜机冷却系统出口通过输水管道与所述水箱第二入口连接。

上述方案的进一步地方案为，所述水箱为保温水箱。

上述方案的进一步地方案为，所述水箱为双层不锈钢保温水箱。

上述方案的进一步地方案为，所述风冷式热交换器的功率为10匹。

上述方案的进一步地方案为，所述水泵为高压水泵，所述高压水泵的功率为1.5KW。

上述方案的进一步地方案为，所述水泵数量为2台。

与现有技术相比，本实用新型提供的技术方案具有如下优点和有益效果：本实用新型提供一种用于高真空镀膜机的冷却装置，包括风冷式热交换器、水箱、水泵和输水管道，所述水箱的第一出口通过输水管道与风冷式热交换器入口连接，所述风冷式热交换器出口通过输水管道与所述水箱的第一入口连接；所述水箱的第二出口通过输水管道与所述水泵入口连接，所述水泵出口通过输水管道与高真空镀膜机冷却系统入口连接，高真空镀膜机冷却系统出口通过输水管道与所述水箱第二入口连接；本实用新型通过引入风冷式热交换器，大幅降低了高真空镀膜机冷却装置的能耗，节约能源。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为实施例中用于高真空镀膜机的冷却装置的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。