[实用新型]一种掩膜板清洗机药液检测装置

摘要

本实用新型提供一种掩膜板清洗机药液检测装置，包括清洗槽、第一电磁阀、透光容器、发光单元、光接收单元、处理单元和显示单元，清洗槽通过管路与第一电磁阀连通，第一电磁阀通过管路与透光容器连通，发光单元和光接收单元分别设置在透光容器的两侧，发光单元发出的光线经过透光容器后到达光接收单元，所述处理单元与第一电磁阀、光接收单元、显示单元连接。本方案通过光接收单元检测穿过透光容器内药液的光强度，可以准确地判断出药液有机物颗粒浓度，实现了药液有机物颗粒浓度的精确测量，利于准确判断药液更换时机，避免了目前经验性判断方法更换溶液的弊端。