[实用新型]一种掩膜板清洗机药液检测装置有效
| 申请号： | 201922339048.6 | 申请日： | 2019-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN211207070U | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 张麒麟;卢玄龙 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/84 | 分类号： | G03F1/84;G03F1/82 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 徐剑兵;张忠波 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 清洗 药液 检测 装置 | ||
1.一种掩膜板清洗机药液检测装置，其特征在于：包括清洗槽、第一电磁阀、透光容器、发光单元、光接收单元、处理单元和显示单元，清洗槽通过管路与第一电磁阀连通，第一电磁阀通过管路与透光容器连通，发光单元和光接收单元分别设置在透光容器的两侧，发光单元发出的光线经过透光容器后到达光接收单元，所述处理单元与第一电磁阀、光接收单元、显示单元连接。
2.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗机药液检测装置，其特征在于：还包括储液槽和第二电磁阀，储液槽通过管路与第二电磁阀连通，第二电磁阀通过管路与透光容器连通，所述处理单元与第二电磁阀连接。
3.根据权利要求2所述的一种掩膜板清洗机药液检测装置，其特征在于：还包括第一液位传感器和第二液位传感器，第一液位传感器和第二液位传感器分别设置在透光容器不同高度位置，第一液位传感器和第二液位传感器与所述处理单元连接。
4.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗机药液检测装置，其特征在于：还包括第三电磁阀，透光容器通过管路与第三电磁阀连通，第三电磁阀通过管路与透光容器连通，所述处理单元与第三电磁阀连接。
5.根据权利要求1所述的一种掩膜板清洗机药液检测装置，其特征在于：还包括报警单元，所述报警单元与所述处理单元连接。
6.根据权利要求1到5任意一项所述的一种掩膜板清洗机药液检测装置，其特征在于：所述显示单元为数字显示单元或机械指针显示单元。
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G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如通过电子束；其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜；其制备，例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜，例如用于校准或测试的特殊涂层或标记；其制备
