[实用新型]一种溅射靶材打磨装置

摘要

本实用新型涉及一种溅射靶材打磨装置，包括机架、设置在机架上的立柱、连接于立柱上的打磨头、水平设置在机架上的磨床、设置在磨床上表面上的若干校直线、活动设置在磨床上的夹具、设置在机架外围的挡板、挂设在挡板上的气枪，气枪内通有高压气体，磨床为具有吸合功能的磁性磨床，磨床与夹具吸合配合；夹具为E型结构，夹具竖直固定架、垂直设置在竖直固定架上的三个横杆、对应设置在其中相邻的两个横杆上的螺纹孔、穿过螺纹孔的螺杆、分别设置在螺杆两端的把手和挡片。本装置可实现高精度打磨，并有效夹紧溅射靶材，防止跑偏；同时气枪可实现碎屑的及时清除，具有使用简单的特点。