[实用新型]一种溅射靶材打磨装置

权利要求书

1.一种溅射靶材打磨装置，其特征在于：包括机架（1）、设置在机架（1）上的立柱（2）、连接于立柱（2）上的打磨头（3）、水平设置在机架（1）上的磨床（4）、设置在磨床（4）上表面上的若干校直线（5）、活动设置在磨床（4）上的夹具（6）、设置在机架（1）外围的挡板（8）、挂设在挡板（8）上的气枪（7），气枪（7）内通有高压气体，磨床（4）为具有吸合功能的磁性磨床，磨床（4）与夹具（6）吸合配合；

夹具（6）为E型结构，夹具包括一竖直固定架（61）、垂直设置在竖直固定架（61）上的三个横杆（62）、对应设置在其中相邻的两个横杆（62）上的螺纹孔（63）、穿过螺纹孔（63）的螺杆（64）、分别设置在螺杆（64）两端的把手（65）和挡片（66），把手（65）位于外端位置的横杆（62）外侧，挡片（66）位于中间位置和内端位置的两个横杆（62）之间，磨床（4）与竖直固定架（61）吸合配合，挡片（66）与内端位置的横杆（62）之间的容置腔用于夹紧待打磨的溅射靶材。

2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材打磨装置，其特征在于：立柱（2）为可调立柱。

3.根据权利要求2所述的一种溅射靶材打磨装置，其特征在于：磨床（4）为矩形。

4.根据权利要求3所述的一种溅射靶材打磨装置，其特征在于：打磨头（3）为滚动轴承结构。

5.根据权利要求4所述的一种溅射靶材打磨装置，其特征在于：气枪（7）的气枪口（71）安装有加长出气管（72），加长出气管（72）的出气端为倾斜端，气枪口（71）与供气管（73）之间活动连接有过渡连接件（74）。