[实用新型]一种用于硅片清洗的大花篮

摘要

本实用新型公开了一种用于硅片清洗的大花篮，包括清洗筒，所述清洗筒为筛状，所述清洗筒的内部设置有两个连接板，两个所述连接板的位置呈上下分布，两个所述连接板的侧壁均与清洗筒的内侧壁转动连接，两个所述连接板之间设置有多个连接杆，多个所述连接杆呈环形阵列分布，多个所述连接杆的两端分别与两个连接板的底部和顶部固定连接，多个所述连接杆的外表面均开设有多个放硅卡口。本实用新型中，在搅动杆的驱动作用下，两个连接板会做往返的旋转运动，即旋转的方向会改变，进而加大清洗液的搅动效果，提高硅片与清洗液的相对位移，提高清洗效率，即该装置能够在没有相应的清洗设备的情况下高效的完成相应的清洗操作。