[实用新型]一种用于硅片清洗的大花篮

权利要求书

1.一种用于硅片清洗的大花篮，包括清洗筒(1)，其特征在于：所述清洗筒(1)为筛状，所述清洗筒(1)的内部设置有两个连接板(4)，两个所述连接板(4)的位置呈上下分布，两个所述连接板(4)的侧壁均与清洗筒(1)的内侧壁转动连接，两个所述连接板(4)之间设置有多个连接杆(10)，多个所述连接杆(10)呈环形阵列分布，多个所述连接杆(10)的两端分别与两个连接板(4)的底部和顶部固定连接，多个所述连接杆(10)的外表面均开设有多个放硅卡口(8)，所述清洗筒(1)的内部设置有搅动杆(2)，所述搅动杆(2)位于多个连接杆(10)之间，所述搅动杆(2)的两端均固定连接有驱动板(12)，两个所述驱动板(12)远离搅动杆(2)的侧壁均固定连接有驱动轴(13)，其中一个所述驱动轴(13)远离驱动板(12)的一端与清洗筒(1)的内侧壁转动连接，其中另一个所述驱动轴(13)远离驱动板(12)的一端转动连接有固定筒(14)，所述固定筒(14)与清洗筒(1)的内侧壁固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的大花篮，其特征在于：两个所述连接板(4)的侧壁均固定连接有滑块(6)，所述清洗筒(1)的内侧壁开设有与滑块(6)相对应的滑槽(5)，所述滑块(6)滑动连接在滑槽(5)的内部。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的大花篮，其特征在于：位于上方的所述连接板(4)的顶部固定连接有连接轴(3)，所述连接轴(3)远离连接板(4)的一端与清洗筒(1)的内顶部转动连接，所述连接轴(3)的外表面转动套接有连接筒(7)，所述连接筒(7)的底部与连接板(4)的顶部转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的大花篮，其特征在于：位于下方的所述连接板(4)的底部固定连接有转轴(9)，所述转轴(9)远离连接板(4)的一端贯穿清洗筒(1)的底部延伸至其下方并固定连接有轴承板(11)。

5.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的大花篮，其特征在于：所述清洗筒(1)的外侧壁固定连接有耐腐蚀电机座(16)，所述耐腐蚀电机座(16)的内部固定安装有伺服电机(15)，所述伺服电机(15)的驱动端贯穿清洗筒(1)的外侧壁延伸至其内部并与驱动轴(13)固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的大花篮，其特征在于：其中一个所述驱动轴(13)远离驱动板(12)的一端固定连接有连接端(18)，所述固定筒(14)的内部开设有与连接端(18)相对应的连接孔(17)，所述连接端(18)转动连接在连接孔(17)的内部。