[实用新型]一种用于溅射镀膜的连续供气装置有效
| 申请号： | 201922301972.5 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN211005594U | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 郑利波 | 申请（专利权）人： | 苏州凯利昂光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 215433 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于溅射镀膜的连续供气装置，包括主供气气路、备用供气气路、减压气路和监测气路，主供气气路和备用供气气路通过减压气路和监测气路与覆膜机连接，减压气路用于将主供气气路和备用供气气路进行降压，监测气路用于检测供入覆膜机的流量；本实用新型结构简单，实现了气体的连续供应，保证溅射镀膜时所需气体供应；增加三通阀和截止阀，排出更换气体时进入的空气，纯化了管路，保障了镀膜工艺，杜绝了空气瞬间进入工艺溅射区，减少了因气体杂质对镀膜工艺的影响。使用二次减压，主管路供气压力更为平稳，对后端电磁流量计冲击减小，保证了平稳的气体供应，从而确保了更为稳定的产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 溅射 镀膜 连续 供气 装置 | ||
【主权项】：
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