[实用新型]一种用于溅射镀膜的连续供气装置

权利要求书

1.一种用于溅射镀膜的连续供气装置，其特征在于，包括主供气气路、备用供气气路、减压气路和监测气路，所述主供气气路和所述备用供气气路通过减压气路和监测气路与覆膜机连接，所述减压气路用于将所述主供气气路和所述备用供气气路进行降压，所述监测气路用于检测供入所述覆膜机的流量；

所述主供气气路包括第一角阀、第一截止阀、第二截止阀和第一三通阀，主气罐通过所述第一角阀与所述第一截止阀连接，所述第一截止阀的出气端与所述第一三通阀的进气端连接，所述第一三通阀的出气端分别与所述第二截止阀和所述减压气路的进气端连接；

所述备用供气气路包括第二角阀、第三截止阀、第四截止阀和第二三通阀，备用气罐通过所述第二角阀与所述第三截止阀连接，所述第三截止阀的出气端与所述第二三通阀的进气端连接，所述第二三通阀的出气端分别与所述第四截止阀和所述减压气路的进气端连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于溅射镀膜的连续供气装置，其特征在于，所述减压气路包括第一减压阀和第二减压阀，所述第一减压阀的出气端与所述第二减压阀的进气端连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于溅射镀膜的连续供气装置，其特征在于，所述监测气路包括第五截止阀、流量计和电磁阀，所述第五截止阀通过所述流量计与所述电磁阀连接，所述电磁阀与所述覆膜机连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于溅射镀膜的连续供气装置，其特征在于，所述备用供气气路还包括第三减压阀。

5.根据权利要求4所述的一种用于溅射镀膜的连续供气装置，其特征在于，所述第三减压阀的输出压力为2Mpa。

6.根据权利要求1-5任一所述的一种用于溅射镀膜的连续供气装置，其特征在于，所述主供气气路还包括单向阀，所述单向阀分别与所述第一截止阀和所述第一三通阀连接。

7.根据权利要求2所述的一种用于溅射镀膜的连续供气装置，其特征在于，所述第一减压阀的输出压力为0.8Mpa，所述第二减压阀的输出压力为0.2-0.3Mpa。