[实用新型]一种新型旋涂设备有效
| 申请号： | 201922287091.2 | 申请日： | 2019-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN211359436U | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 苏州天仁微纳智能科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/08 | 分类号： | B05C11/08;B05C11/10;B05C15/00 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 陈娟 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州市常熟经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种新型旋涂设备，包括：外壳，外壳内设置有容纳槽；真空装置，位于容纳槽底部，真空装置包括与容纳槽底部连接的真空泵，以及位于真空泵上方与真空泵连接的真空吸盘，真空吸盘用于吸附基片；旋转装置，连接于真空泵与真空吸盘之间；密封板，位于真空吸盘上方与容纳槽的槽壁连接，真空吸盘上方的密封板上开设有涂胶口；防护装置，位于密封板与密封板连接；滴胶装置，位于密封板上方与容纳槽的槽壁连接；胶液回收装置，位于密封板下方与涂胶口连接，胶液回收装置包括与涂胶口连接的回收壳，以及位于回收壳底端与回收壳连通的回收桶。本实用新型能够防止胶液回收管堵塞，防止空气中的灰尘会污染基片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 设备 | ||
【主权项】：
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