[实用新型]一种新型旋涂设备

权利要求书

1.一种新型旋涂设备，其特征在于，包括：

外壳，所述外壳内设置有容纳槽；

真空装置，位于所述容纳槽底部，所述真空装置包括与容纳槽底部连接的真空泵，以及位于所述真空泵上方与所述真空泵连接的真空吸盘，所述真空吸盘用于吸附基片；

旋转装置，连接于所述真空泵与所述真空吸盘之间可驱动所述真空吸盘旋转；

密封板，位于所述真空吸盘上方与所述容纳槽的槽壁连接，所述真空吸盘上方的密封板上开设有涂胶口；

防护装置，与所述密封板连接可打开或关闭所述涂胶口；

滴胶装置，位于所述密封板上方与所述容纳槽的槽壁连接，所述滴胶装置可相对于所述涂胶口转动，通过涂胶口向所述真空吸盘吸附的基片滴加压印胶；

胶液回收装置，位于所述密封板下方与所述涂胶口连接，所述胶液回收装置包括与所述涂胶口连接的回收壳，以及位于所述回收壳底端与所述回收壳连通的回收桶。

2.根据权利要求1所述的新型旋涂设备，其特征在于：所述旋涂设备还包括设置于所述外壳顶部与容纳槽连通的空气净化装置，以及设置在所述密封板及容纳槽底部的排气孔。

3.根据权利要求2所述的新型旋涂设备，其特征在于：所述旋涂设备还包括控制器，所述控制器与所述空气净化装置、所述真空装置、所述旋转装置、所述防护装置以及所述滴胶装置电性连接。

4.根据权利要求2所述的新型旋涂设备，其特征在于：所述空气净化装置包括设置在所述外壳顶部的风机，以及设置于所述风机的进风口内侧的过滤网，所述风机从所述外壳外部引入气流经过所述过滤网进入所述容纳槽内并通过所述排气孔排出。

5.根据权利要求1所述的新型旋涂设备，其特征在于：所述真空吸盘上表面设置有卡槽，基片的上表面高于所述真空吸盘上表面的高度。

6.根据权利要求1所述的新型旋涂设备，其特征在于：所述真空吸盘包括吸盘以及底座，所述底座中心设置有空心腔，所述真空泵通过气管穿过所述空心腔与所述吸盘连接。

7.根据权利要求1所述的新型旋涂设备，其特征在于：所述旋转装置为放置在所述真空泵上方的电机，所述电机的动力输出轴与所述真空吸盘的底座连接。

8.根据权利要求1所述的新型旋涂设备，其特征在于：所述防护装置包括电机，所述电机的动力输出轴上连接有盖板，所述电机驱动所述盖板打开或关闭所述涂胶口。

9.根据权利要求1所述的新型旋涂设备，其特征在于：所述滴胶装置包括与所述容纳槽的槽壁连接的伺服电机，与所述伺服电机的输出轴上连接的滴胶机械臂，连接在所述外壳外壁上的蠕动泵，与蠕动泵连通的胶瓶，以及设置在所述滴胶机械臂远离所述伺服电机一端的滴胶嘴，所述滴胶嘴与所述胶瓶通过胶管连通。

10.根据权利要求1所述的新型旋涂设备，其特征在于：所述回收壳内壁上设置有聚四氟乙烯涂层。