[实用新型]一种用于喷砂设备的TFT平面溅射靶材保护结构有效
| 申请号： | 201922268101.8 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN211388351U | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 郭文明 | 申请（专利权）人： | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号： | B24C1/08 | 分类号： | B24C1/08;B24C3/00 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 林晓宏 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于喷砂设备的TFT平面溅射靶材保护结构，保护结构包括有紧贴于TFT平面溅射靶材的基片的上表面的第一保护层、贴附于基片的侧面的第二保护层以及包裹设置于TFT平面溅射靶材的背板两端部的第三保护层。其中，第一保护层完全覆盖于基片的上表面；第二保护层沿基片的边缘方向闭合设置，第二保护层的底边平齐于背板的绑定面，第二保护层的上边包覆于第一保护层的边缘；在背板的绑定面，两个第三保护层的内侧边与第二保护层的底边包围形成喷砂区。与现有技术相比，该保护结构能够对靶材的溅射区进行柔性保护，使溅射区的表面保持光洁，保持溅射镀膜的成膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 喷砂 设备 tft 平面 溅射 保护 结构 | ||
【主权项】：
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