[实用新型]一种用于喷砂设备的TFT平面溅射靶材保护结构

权利要求书

1.一种用于喷砂设备的TFT平面溅射靶材保护结构，保护结构包括有紧贴于TFT平面溅射靶材的基片(51)的上表面的第一保护层(1)、贴附于基片(51)的侧面的第二保护层(2)以及包裹设置于TFT平面溅射靶材的背板(52)两端部的第三保护层(3)，

其中，第一保护层(1)完全覆盖于基片(51)的上表面；第二保护层(2)沿基片(51)的边缘方向闭合设置，第二保护层(2)的底边平齐于背板(52)的绑定面，第二保护层(2)的上边包覆于第一保护层(1)的边缘；在背板(52)的绑定面，两个第三保护层(3)的内侧边与第二保护层(2)的底边包围形成喷砂区(4)。

2.根据权利要求1所述的一种用于喷砂设备的TFT平面溅射靶材保护结构，其特征在于：所述第一保护层(1)包括橡胶面板，橡胶面板的形状大小与所述基片(51)的上表面的形状大小相同，橡胶面板的底面改性形成静电贴面，橡胶面板的静电贴面重叠紧贴于基片(51)的上表面。

3.根据权利要求2所述的一种用于喷砂设备的TFT平面溅射靶材保护结构，其特征在于：所述第二保护层(2)设置为喷砂保护膜，这一喷砂保护膜的厚度设置为0.2mm～0.7mm。

4.根据权利要求3所述的一种用于喷砂设备的TFT平面溅射靶材保护结构，其特征在于：两个所述第三保护层(3)分别设置为喷砂保护膜，这两个喷砂保护膜的厚度设置为0.3～0.8。

5.根据权利要求4所述的一种用于喷砂设备的TFT平面溅射靶材保护结构，其特征在于：所述TFT平面溅射靶材的所述背板(52)的两端部分别设置有用于连接溅射设备的连接部，连接部包括有多个内螺纹穿孔，所述第三保护层(3) 分别覆盖相应的内螺纹穿孔。

6.根据权利要求2至5任一项所述的一种用于喷砂设备的TFT平面溅射靶材保护结构，其特征在于：所述橡胶面板的硬度设置为邵氏硬度A型20～25。

7.根据权利要求2至5任一项所述的一种用于喷砂设备的TFT平面溅射靶材保护结构，其特征在于：所述橡胶面板的厚度设置为2mm～7mm。

8.根据权利要求1所述的一种用于喷砂设备的TFT平面溅射靶材保护结构，其特征在于：所述第三保护层(3)沿所述背板(52)的周围方向包裹设置，第三保护层(3)遮挡于背板(52)端部的绑定面、侧面、端面以及底面。

9.根据权利要求8所述的一种用于喷砂设备的TFT平面溅射靶材保护结构，其特征在于：所述喷砂区(4)包括有两个沿所述TFT平面溅射靶材长度方向的长度侧面和两个沿TFT平面溅射靶材宽度方向的宽度侧面，

长度侧面包括背板(52)的绑定面部分以及背板(52)的侧面部分，绑定面部分由背板(52)的长度边与所述第二保护层(2)的底边的长度部分间隔形成；

宽度侧面由所述第三保护层(3)的内侧边与第二保护层(2)的底边的宽度部分间隔形成，第三保护层(3)的内侧边平行于所述基片(51)相应的宽度侧边，

长度侧面的绑定面部分的宽度与宽度侧面的宽度大小相同。