[实用新型]一种真空镀膜机的炉腔测温装置有效
| 申请号： | 201922255779.2 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN211256078U | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 吴伟亮;冯刚;邓永琪;汪毅;梁海洋;章强 | 申请（专利权）人： | 苏州星蓝纳米技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;G01K13/00;G01K1/14 |
| 代理公司： | 江苏昆成律师事务所 32281 | 代理人： | 刘尚轲 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 为了解决真空镀膜机的空心管和真空镀膜机工作腔室底部相对旋转发生摩擦从而产生金属粉末掉落在温度计表面，最终影响温度计测量结果的问题，本实用新型提出一种真空镀膜机的炉腔测温装置，其包括：真空镀膜机工作腔室(1)、大盘(2)、温度传感器(3)、温度计(4)、空心管(5)、齿轮(7)，其特征在于：所述的真空镀膜机的炉腔测温装置还包括容纳腔室(6)，容纳腔室(6)固定在空心管(5)的底部，且容纳腔室(6)在XY平面上的横切面积大于空心管(5)在XY平面上的横切面积，温度计(4)位于容纳腔室(6)超出空心管的XY轴平面的侧壁上，温度传感器(3)的传输线穿过空心管(5)连接到温度计(4)上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 测温 装置 | ||
【主权项】：
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