[实用新型]一种真空镀膜机的炉腔测温装置有效
| 申请号： | 201922255779.2 | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN211256078U | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 吴伟亮;冯刚;邓永琪;汪毅;梁海洋;章强 | 申请（专利权）人： | 苏州星蓝纳米技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;G01K13/00;G01K1/14 |
| 代理公司： | 江苏昆成律师事务所 32281 | 代理人： | 刘尚轲 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 测温 装置 | ||
1.一种真空镀膜机的炉腔测温装置，其包括：真空镀膜机工作腔室(1)、大盘(2)、温度传感器(3)、温度计(4)、空心管(5)、齿轮(7)，其中大盘(2)位于真空镀膜机工作腔室(1)的底部，且大盘(2)的上表面上设有一个或多个工件架(21)，大盘(2)的底部设有转轴，空心管(5)穿过真空镀膜机工作腔室(1)的底部，其中空心管(5)的上部分位于真空镀膜机工作腔室(1)的内部，空心管(5)的下部分位于真空镀膜机工作腔室(1)的外部，转轴与空心管(5)的上部分固定连接，空心管(5)的下部分外围固定有齿轮(7)，齿轮(7)的外围包覆皮带轮(71)，皮带轮(71)的另外一侧穿过电机(72)的电机轴(721)，电机(72)的电机轴(721)可以带动皮带轮(71)旋转，从而带动空心管(5)旋转，从而带动大盘(2)旋转，温度传感器(3)位于真空镀膜机工作腔室(1)的内部，其特征在于：所述的真空镀膜机的炉腔测温装置还包括容纳腔室(6)，容纳腔室(6)固定在空心管(5)的底部，且容纳腔室(6)在XY平面上的横切面积大于空心管(5)在XY平面上的横切面积，温度计(4)位于容纳腔室(6)超出空心管的XY轴平面的侧壁上，温度传感器(3)的传输线穿过空心管(5)连接到温度计(4)上。
2.如权利要求1所述的真空镀膜机的炉腔测温装置，其特征在于：容纳腔室(6)包括上部开口(61)、外螺纹、超出空心管(5)的XY轴平面的侧壁和底板(62)，其中上部开口(61)嵌套在空心管(5)的内部，外螺纹与空心管(5)内部的内螺纹固定连接，使得容纳腔室(6)与空心管(5)固定连接，底板(62)与超出空心管(5)的XY轴平面的侧壁底部连接。
3.如权利要求2所述的真空镀膜机的炉腔测温装置，其特征在于：所述的底板(62)与所述的超出空心管(5)的XY轴平面的侧壁为分体结构，在XY轴平面的侧壁外部设有卡箍组件(63)，通过将卡箍组件(63)锁紧或者松开，可以对底板(62)实现打开或者闭合。
4.如权利要求1所述的真空镀膜机的炉腔测温装置，其特征在于：在空心管(5)的外侧设有磁流体密封(51)，磁流体密封(51)的上表面固定在真空镀膜机工作腔室(1)的底板的下表面上。
5.如权利要求1所述的真空镀膜机的炉腔测温装置，其特征在于：在空心管(5)的外围固定有铜圈(8)，铜圈(8)与碳刷(81)接触，从而实现对真空镀膜机的供电。
6.如权利要求1所述的真空镀膜机的炉腔测温装置，其特征在于：在空心管(5)的外围还固定有转盘(9)，转盘(9)的边缘等距离设置多个开孔(91)，在转盘(9)的开孔(91)的上方设置有计数传感器(92)。
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