[实用新型]一种真空镀膜机的炉腔测温装置

说明书

为了解决真空镀膜机的空心管和真空镀膜机工作腔室底部相对旋转发生摩擦从而产生金属粉末掉落在温度计表面，最终影响温度计测量结果的问题，本实用新型提出一种真空镀膜机的炉腔测温装置，其包括：真空镀膜机工作腔室(1)、大盘(2)、温度传感器(3)、温度计(4)、空心管(5)、齿轮(7)，其特征在于：所述的真空镀膜机的炉腔测温装置还包括容纳腔室(6)，容纳腔室(6)固定在空心管(5)的底部，且容纳腔室(6)在XY平面上的横切面积大于空心管(5)在XY平面上的横切面积，温度计(4)位于容纳腔室(6)超出空心管的XY轴平面的侧壁上，温度传感器(3)的传输线穿过空心管(5)连接到温度计(4)上。

技术领域

本实用新型属于表面处理技术领域，较为具体的，涉及到一种真空镀膜机的炉腔测温装置。

背景技术

PVD真空镀膜机在工作时，大盘的上表面固定有一个或者多个工件架，所述的一个或者多个工件架可以在大盘的上表面发生自旋转，大盘的下表面设有转轴，转轴与空心管固定连接，空心管从真空镀膜机工作腔室的内部穿过真空镀膜机的底板，从而延伸到真空镀膜机工作腔室的外部，在空心管的外围固定有齿轮，齿轮的外围包覆有皮带轮，皮带轮在电机的电机轴的带动下发生旋转动作，从而带动大盘发生公转。

PVD真空镀膜的过程中，温度的控制十分重要，目前，现有的PVD真空镀膜机的测温装置为，在真空镀膜机工作腔室的内部设有一个或多个温度传感器，温度传感器的传输线从空心管中穿过并延伸至温度较低的空心管的底部，并在空心管的底部固定有温度计，这样可以测量PVD真空镀膜机工作腔室的温度。但是采用这种结构，由于空心管长期处于旋转状态，与真空镀膜机工作腔室的底面发生摩擦，会产生金属粉末，这些金属粉末都会掉落在温度计的表面，从而会影响温度计的效果，使得温度计的测量不准，这样对于PVD真空镀膜机工作腔室的温度的控制就会不准，会直接影响真空镀膜的效果。

发明内容

有鉴于此，为了解决真空镀膜机的空心管和真空镀膜机工作腔室底部相对旋转发生摩擦从而产生金属粉末掉落在温度计表面，最终影响温度计测量结果的问题，本实用新型提出一种真空镀膜机的炉腔测温装置，其在传统方案的基础上，在空心管的底部增加一个容纳腔室，容纳腔室在XY轴平面的面积超出空心管的横截面积，并且在容纳腔室的超出空心管的XY轴平面的侧壁上安装温度计，这样可以使得摩擦产生的金属粉末不会掉落在温度计的表面，就不会影响温度计的使用效果，从而保证了真空镀膜机对温度的控制。

一种真空镀膜机的炉腔测温装置，其包括：真空镀膜机工作腔室1、大盘2、温度传感器3、温度计4、空心管5、齿轮7，其中大盘2位于真空镀膜机工作腔室1的底部，且大盘2的上表面上设有一个或多个工件架21，大盘2的底部设有转轴，空心管5穿过真空镀膜机工作腔室1的底部，其中空心管5的上部分位于真空镀膜机工作腔室1的内部，空心管5的下部分位于真空镀膜机工作腔室1的外部，转轴与空心管5的上部分固定连接，空心管5的下部分外围固定有齿轮7，齿轮7的外围包覆皮带轮71，皮带轮71的另外一侧穿过电机72的电机轴721，电机72的电机轴721可以带动皮带轮71旋转，从而带动空心管5旋转，从而带动大盘2旋转，温度传感器3位于真空镀膜机工作腔室1的内部，其特征在于：所述的真空镀膜机的炉腔测温装置还包括容纳腔室6，容纳腔室6固定在空心管5的底部，且容纳腔室6在XY平面上的横切面积大于空心管5在XY平面上的横切面积，温度计4位于容纳腔室6超出空心管的XY轴平面的侧壁上，温度传感器3的传输线穿过空心管5连接到温度计4上。

进一步的，容纳腔室6包括上部开口61、外螺纹、超出空心管5的XY轴平面的侧壁和底板62，其中上部开口61嵌套在空心管5的内部，外螺纹与空心管5内部的内螺纹固定连接，使得容纳腔室6与空心管5固定连接，底板62与超出空心管5的XY轴平面的侧壁底部连接。

进一步的，所述的底板62与所述的超出空心管5的XY轴平面的侧壁为分体结构，在XY轴平面的侧壁外部设有卡箍组件63，通过将卡箍组件63锁紧或者松开，可以对底板62实现打开或者闭合，当底板62打开时，可以方便将容纳腔室6内部的金属粉末倒出，或者对温度计进行维修。