[实用新型]一种扩散炉清洗装置有效
| 申请号: | 201922253449.X | 申请日: | 2019-12-16 |
| 公开(公告)号: | CN211464158U | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
| 发明(设计)人: | 崔文荣 | 申请(专利权)人: | 江苏晟驰微电子有限公司 |
| 主分类号: | B08B9/027 | 分类号: | B08B9/027 |
| 代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 张彩珍 |
| 地址: | 226600 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种扩散炉清洗装置,包括槽体本体,槽体本体上设有2个单独的同级清洗槽,槽体本体内部安装有旋转电机,所述旋转电机外接齿轮连接2根旋转轴,旋转轴上装有滚轮,滚轮上装有2根软质皮带,处理管道时与管道接触,在靠近旋转电机侧,两根旋转轴的中间位置设有一根进水管,进水管由机台底部引出,电磁阀控制进水开关,进水管口接PP材质软管,槽体本体尾端设有排液口,本实用新型保护了炉管的高温涂层,延长了炉管的使用寿命;降低了了炉管清洗工序的成本,单次化学试剂消耗量降低50%。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 扩散 清洗 装置 | ||
【主权项】:
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