[实用新型]一种扩散炉清洗装置有效
| 申请号： | 201922253449.X | 申请日： | 2019-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN211464158U | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 崔文荣 | 申请（专利权）人： | 江苏晟驰微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/027 | 分类号： | B08B9/027 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 张彩珍 |
| 地址： | 226600 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 清洗 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种扩散炉清洗装置，包括槽体本体(1)，其特征在于：所述槽体本体(1)上设有2个单独的同级清洗槽，所述槽体本体(1)内部安装有旋转电机(2)，所述旋转电机(2)外接齿轮连接2根旋转轴(3)，所述旋转轴(3)上装有滚轮(4)，所述滚轮(4)上装有2根软质皮带，处理管道时与管道接触，在靠近旋转电机(2)侧，两根旋转轴的中间位置设有一根进水管(5)，所述进水管(5)由机台底部引出，电磁阀控制进水开关，所述进水管口接PP材质软管，所述槽体本体(1)尾端设有排液口(6)。
2.根据权利要求1所述的一种扩散炉清洗装置，其特征在于：所述排液口(6)设有网罩(7)，所述网罩(7)包括框体(8)，所述框体(8)内侧安装有滤网(9)，所述框体(8)采用环形结构，所述滤网(9)采用石墨烯材料制成。
3.根据权利要求1所述的一种扩散炉清洗装置，其特征在于：所述软质皮带采用耐酸尼龙材料制成。
4.根据权利要求1所述的一种扩散炉清洗装置，其特征在于：所述旋转电机(2)采用伺服电机。
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