[实用新型]用于芯片卷的双排式烧制热封设备有效

专利信息
申请号: 201922199216.6 申请日: 2019-12-10
公开(公告)号: CN211150520U 公开(公告)日: 2020-07-31
发明(设计)人: 张俞峰 申请(专利权)人: 昆山沃得福自动化设备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 代理人: 赵红霞
地址: 215300 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型揭示了用于芯片卷的双排式烧制热封设备,包括机台、及具备第一料带支撑轨和第二料带支撑轨的支撑基台,机台上设有第一放卷部、回收部、第一收卷部、第二放卷部、供膜部、热压封合机构、及第二收卷部,机台上还设有烧制机构及芯片拾取运转机构,芯片拾取运转机构用于在第一料带支撑轨与烧制机构之间、及在烧制机构与第二料带支撑轨之间位置切换。本实用新型能实现两道料带的同步步进式运行,满足旧带芯片出料旧带回收、及出料芯片烧制装载新带热封包装成卷的需求,自动化运行流畅稳定高效。芯片拾取运转机构设计巧妙,满足烧制机构至两个料带支撑轨的差别式运行需求,无需采用价格昂贵的机械臂,节约设备成本。
搜索关键词: 用于 芯片 双排式 烧制 设备
【主权项】:
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