[实用新型]一种二维微镜有效
| 申请号： | 201922195721.3 | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN212276105U | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 马宏 | 申请（专利权）人： | 觉芯电子（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市滨湖区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种二维微镜，包括第一器件层、第一绝缘层和第二器件层，通过在所述第一器件层设置第一电隔离槽和在所述第二器件层设置加固框架的方式，所述第一电隔离槽为分隔式电隔离槽，只需进行刻蚀工艺，不必进行填充，即能保证所述镜面和所述可动框架电隔离，所述加固框架将所述可动框架上被第一电隔离槽分隔开的区域连接在一起，不仅避免了填充式电隔离槽的复杂工艺，还能起到加固所述可动框架的刚性的作用，大大降低了生产的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二维 | ||
【主权项】：
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