[实用新型]一种二维微镜

权利要求书

1.一种二维微镜，其特征在于，由SOI晶圆制成，所述SOI晶圆包括：第一器件层(110)、第一绝缘层(210)和第二器件层(310)，所述第一器件层(110)、所述第一绝缘层(210)和所述第二器件层(310)从上至下依次堆叠；

所述第一器件层(110)包括镜面(111)和可动框架(112)，所述镜面(111)设于所述可动框架(112)的中心位置，所述可动框架(112)设有第一电隔离槽(113a)，所述第一电隔离槽(113a)为分隔式电隔离槽，所述第一电隔离槽(113a)将所述镜面(111)和所述可动框架(112)电隔离；

所述第二器件层(310)包括加固框架(312)，所述加固框架(312)设于所述可动框架(112)的下方，所述加固框架(312)的位置与所述可动框架(112)的位置相配合。

2.根据权利要求1所述的二维微镜，其特征在于：

所述可动框架(112)设有第二静梳齿(118b)，所述第二静梳齿(118b)沿Y轴方向排布；

所述第一器件层(110)还包括驱动杆(119)，所述驱动杆(119)的一端和所述镜面(111)刚性连接，所述驱动杆(119)的另一端沿Y轴向远离所述镜面(111)的方向延伸，所述驱动杆(119)上排布有第二动梳齿(118a)，所述第二动梳齿(118a)和所述第二静梳齿(118b)交错排布。

3.根据权利要求1所述的二维微镜，其特征在于：

所述第一器件层(110)还包括第一固定框架(114)、第一扭转轴(115a)和第二扭转轴(115b)；

所述第一固定框架(114)设于所述可动框架(112)的四周；

所述第一扭转轴(115a)的一端和所述第一固定框架(114)相连，所述第一扭转轴(115a)的另一端和所述可动框架(112)相连；

所述第二扭转轴(115b)的一端和所述镜面(111)相连，所述第二扭转轴(115b)的另一端和所述可动框架(112)相连。

4.根据权利要求2或3所述的二维微镜，其特征在于：

所述可动框架(112)还设有第一动梳齿(117)，所述第一动梳齿(117)沿X轴方向排布；

所述第二器件层(310)包括第二固定框架(314)，所述第二固定框架(314)设于所述加固框架(312)的四周；

所述第二固定框架(314)设有第一静梳齿(317)，所述第一静梳齿(317)和所述第一动梳齿(117)垂直方向上交错排布。

5.根据权利要求3所述的二维微镜，其特征在于：

所述第一固定框架(114)设有锚点(116)和第二电隔离槽(113b)，所述第二电隔离槽(113b)设于所述锚点(116)的四周；

所述第一扭转轴(115a)的一端和所述锚点(116)相连。

6.根据权利要求4所述的二维微镜，其特征在于：

所述第二固定框架(314)设有第三电隔离槽(313c)，所述第三电隔离槽(313c)围绕所述第一静梳齿(317)设置。

7.根据权利要求1所述的二维微镜，其特征在于：

所述第一电隔离槽(113a)朝所述镜面(111)延伸的一端的宽度逐渐增大。

8.根据权利要求1所述的二维微镜，其特征在于：

所述加固框架(312)的宽度为T1，所述可动框架(112)的宽度为T2，其中0.5≤T1/T2≤1.5。

9.根据权利要求3所述的二维微镜，其特征在于：

所述加固框架(312)设有凹槽，所述凹槽的开口方向朝向所述第二扭转轴(115b)。

10.根据权利要求1所述的二维微镜，其特征在于：

所述SOI晶圆还包括第二绝缘层(410)和衬底层(510)，所述SOI晶圆由所述第一器件层(110)、所述第一绝缘层(210)、所述第二器件层(310)、所述第二绝缘层(410)和所述衬底层(510)从上至下依次堆叠形成；

所述SOI晶圆设有空腔，所述可动框架(112)、所述镜面(111)、所述加固框架(312)均位于所述空腔的正上方。