[实用新型]一种微尘清洁装置有效
| 申请号： | 201922178562.6 | 申请日： | 2019-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN211938208U | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 魏加杰;陈伟光;卢凤军;周崇铭 | 申请（专利权）人： | 合肥通富微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人： | 郭栋梁 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市经*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种微尘清洁装置，可以应用于半导体集成电路封装领域，用于清洁待封装的半导体器件，由于半导体器件在生产的过程中易受到外部微尘的污染，在封装后无法清除，微尘会影响半导体器件的产品质量，本申请通过设置吹风组件，吹风组件包括调节装置和设置在所述调节装置上的吹风头，调节装置用于在水平方向调节吹风头的位置，吹风头包括至少一个开口向下的出气管，和设置在吹风头的下方的固定组件，吹风组件用于固定位于固定组件上方且位于吹风头下方的传送带，通过固定组件固定传送带，吹风头向半导体器件表面吹风实现对微尘的清理，进而保证了半导体器件的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微尘 清洁 装置 | ||
【主权项】：
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