[实用新型]一种微尘清洁装置有效

专利信息
申请号: 201922178562.6 申请日: 2019-12-06
公开(公告)号: CN211938208U 公开(公告)日: 2020-11-17
发明(设计)人: 魏加杰;陈伟光;卢凤军;周崇铭 申请(专利权)人: 合肥通富微电子有限公司
主分类号: B08B5/02 分类号: B08B5/02;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/677
代理公司: 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 代理人: 郭栋梁
地址: 230000 安徽省合肥市经*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 微尘 清洁 装置
【权利要求书】:

1.一种微尘清洁装置,其特征在于,包括:

吹风组件:所述吹风组件包括调节装置和设置在所述调节装置上的吹风头,所述调节装置用于在水平方向调节所述吹风头的位置,所述吹风头包括至少一个开口向下的出气管;

固定组件:设置在所述吹风头的下方,用于固定位于所述固定组件上方且位于所述吹风头下方的传送带。

2.根据权利要求1所述的一种微尘清洁装置,其特征在于:所述固定组件包括伸缩装置、水平固设在所述伸缩装置上的支撑平台和固定设置在所述支撑平台上的吸附组件。

3.根据权利要求2所述的一种微尘清洁装置,其特征在于:所述吸附组件的上表面均匀设置有多个吸气孔,所述多个吸气孔均连通汇集于真空组件上的真空通孔。

4.根据权利要求2所述的一种微尘清洁装置,其特征在于:所述吸附组件包括相对平行设置的第一吸附件和第二吸附件;所述固定组件还包括位于所述第一吸附件和所述第二吸附件之间的支撑梁,所述支撑梁固设在所述支撑平台上。

5.根据权利要求4所述的一种微尘清洁装置,其特征在于,所述支撑平台上设置有用于调节所述第一吸附件和第二吸附件间距的调节孔。

6.根据权利要求5所述的一种微尘清洁装置,其特征在于:所述调节孔为设置在所述支撑平台上的多种间距的通孔。

7.根据权利要求1所述的一种微尘清洁装置,其特征在于:所述出气管与水平面的夹角30°<ɑ<45°。

8.根据权利要求1所述的一种微尘清洁装置,其特征在于:所述调节装置包括可沿水平方向调节的第一调节组件,和可沿水平方向调节且调节方向垂直于所述第一调解组件调节方向的第二调节组件。

9.根据权利要求8所述的一种微尘清洁装置,其特征在于:所述第一调节组件包括水平设置的第一滑道,和与所述第一滑道滑动配合的滑动件,所述第二调节组件与所述滑动件固定连接。

10.根据权利要求9所述的一种微尘清洁装置,其特征在于:所述第二调节组件包括与所述滑动件固定连接的调节块和与所述调节块滑动配合的调节板,所述调节板的滑动方向垂直于所述第一滑道的长度方向;所述吹风头设置在所述调节板上。

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