[实用新型]一种酸清洗装置有效
| 申请号： | 201922157239.0 | 申请日： | 2019-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN211330517U | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 张剑桥;陆前军 | 申请（专利权）人： | 东莞市中图半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种酸清洗装置。该酸清洗装置包括：酸洗槽，所述酸洗槽具有平整底面，超声结构，所述超声结构包括超声变幅杆，所述超声变幅杆设置在所述酸洗槽的开口上方，所述超声变幅杆可活动调节以伸入所述酸洗槽中的酸洗液中，加热装置，设置在所述酸洗槽的下方。本实用新型实施例解决了对化学性质稳定、附着力强的杂质清除困难的问题，实现了增加体系中化学反应速率、缩短酸洗时间、有效去除衬底表面顽固的杂质的效果，并且能够充分利用酸洗液，减少成本的浪费，降低环境保护的负担。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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