[实用新型]一种酸清洗装置

说明书

本实用新型实施例公开了一种酸清洗装置。该酸清洗装置包括：酸洗槽，所述酸洗槽具有平整底面，超声结构，所述超声结构包括超声变幅杆，所述超声变幅杆设置在所述酸洗槽的开口上方，所述超声变幅杆可活动调节以伸入所述酸洗槽中的酸洗液中，加热装置，设置在所述酸洗槽的下方。本实用新型实施例解决了对化学性质稳定、附着力强的杂质清除困难的问题，实现了增加体系中化学反应速率、缩短酸洗时间、有效去除衬底表面顽固的杂质的效果，并且能够充分利用酸洗液，减少成本的浪费，降低环境保护的负担。

技术领域

本实用新型实施例涉及半导体衬底技术领域技术，尤其涉及一种酸清洗装置。

背景技术

蓝宝石衬底具有热稳定性、化学稳定性和低成本的优点，被广泛应用为薄膜生长的衬底，在图形化蓝宝石制程中，产品衬底的酸清洗过程至关重要，将会直接影响外延层的生长质量。

传统蓝宝石衬底的清洗装置仅由石英缸组成，在石英缸底部安装有通N₂管以及电阻丝，通过将强氧化性酸混合液与N₂鼓泡，再利用电阻丝加热混合液，在酸洗过程中，通入纯N₂，增加片表面与液体之间的扰动、促进片表面颗粒物质的氧化或脱落，从而达到清洗衬底的作用。

现有技术中，仅仅通过强氧化性酸混合液与N₂鼓泡、加热相结合的方式来清洗蓝宝石衬底，难以对衬底表面一些化学性质稳定、附着力强的杂质进行有效清除，同时酸性溶液无法多次重复使用，增加成本，增大环境的负担。

实用新型内容

本实用新型提供一种酸清洗装置，以清除衬底表面化学性质稳定、附着力强的杂质。

本实用新型实施例提供了一种酸清洗装置，包括：

酸洗槽，所述酸洗槽具有平整底面；

超声结构，所述超声结构包括超声变幅杆，所述超声变幅杆设置在所述酸洗槽的开口上方，所述超声变幅杆可活动调节以伸入所述酸洗槽中的酸洗液中；

加热装置，设置在所述酸洗槽的下方。

可选地，所述超声变幅杆表面包覆有聚四氟乙烯耐酸抗氧化膜。

可选地，所述超声变幅杆为钛合金超声变幅杆、镍合金超声变幅杆或钴合金超声变幅杆。

可选地，所述超声结构还包括定位支架，所述定位支架包括定位杆和活动杆；

所述超声变幅杆与所述活动杆固定连接，所述活动杆活动连接在所述定位杆上，所述活动杆可活动调节以使所述超声变幅杆伸入所述酸洗槽中的酸洗液中。

可选地，所述定位支架为聚四氟乙烯支架。

可选地，所述超声结构还包括超声波发生器和超声波换能器，所述超声波发生器和所述超声波换能器电连接，所述超声波换能器和所述超声变幅杆机械连接；

所述超声波换能器根据所述超声波发生器的超声波发送的高频交流电信号产生机械振动，所述超声波换能器根据所述交流电信号产生规律振动，所述超声变幅杆用于调节所述超声波换能器输入的规律振动的振幅并输出。

可选地，所述加热装置包括红外线烤灯和光反射结构，所述红外线烤灯位于所述酸洗槽和所述光反射结构之间；所述光反射结构将红外线烤灯的光线反射至所述酸洗槽的底部。

可选地，所述加热装置为电热丝或电热管。

可选地，所述酸洗槽的底部设置有至少一个排液孔。

可选地，所述排液孔的直径大于或等于5cm。