[实用新型]一种酸清洗装置有效
| 申请号： | 201922157239.0 | 申请日： | 2019-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN211330517U | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 张剑桥;陆前军 | 申请（专利权）人： | 东莞市中图半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 装置 | ||
1.一种酸清洗装置，其特征在于，包括：
酸洗槽，所述酸洗槽具有平整底面；
超声结构，所述超声结构包括超声变幅杆，所述超声变幅杆设置在所述酸洗槽的开口上方，所述超声变幅杆可活动调节以伸入所述酸洗槽中的酸洗液中；
加热装置，设置在所述酸洗槽的下方。
2.根据权利要求1所述的酸清洗装置，其特征在于，所述超声变幅杆表面包覆有聚四氟乙烯耐酸抗氧化膜。
3.根据权利要求2所述的酸清洗装置，其特征在于，所述超声变幅杆为钛合金超声变幅杆、镍合金超声变幅杆或钴合金超声变幅杆。
4.根据权利要求1所述的酸清洗装置，其特征在于，所述超声结构还包括定位支架，所述定位支架包括定位杆和活动杆；
所述超声变幅杆与所述活动杆固定连接，所述活动杆活动连接在所述定位杆上，所述活动杆可活动调节以使所述超声变幅杆伸入所述酸洗槽中的酸洗液中。
5.根据权利要求4所述的酸清洗装置，其特征在于，所述定位支架为聚四氟乙烯支架。
6.根据权利要求1所述的酸清洗装置，其特征在于，所述超声结构还包括超声波发生器和超声波换能器，所述超声波发生器和所述超声波换能器电连接，所述超声波换能器和所述超声变幅杆机械连接；
所述超声波换能器根据所述超声波发生器的超声波发送的高频交流电信号产生机械振动，所述超声波换能器根据所述交流电信号产生规律振动，所述超声变幅杆用于调节所述超声波换能器输入的规律振动的振幅并输出。
7.根据权利要求1所述的酸清洗装置，其特征在于，所述加热装置包括红外线烤灯和光反射结构，所述红外线烤灯位于所述酸洗槽和所述光反射结构之间；所述光反射结构将红外线烤灯的光线反射至所述酸洗槽的底部。
8.根据权利要求1所述的酸清洗装置，其特征在于，所述加热装置为电热丝或电热管。
9.根据权利要求1所述的酸清洗装置，其特征在于，所述酸洗槽的底部设置有至少一个排液孔。
10.根据权利要求9所述的酸清洗装置，其特征在于，所述排液孔的直径大于或等于5cm。
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