[实用新型]一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具有效
| 申请号： | 201922141540.2 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN211029752U | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 罗宗元 | 申请（专利权）人： | 深圳市辉耀智佳实业有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00;F16B11/00 |
| 代理公司： | 深圳市汇信知识产权代理有限公司 44477 | 代理人： | 张志凯 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区平湖*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，该结构合理，使用方便，易于定位贴片且提高成品质量的于光分路器晶圆贴片加工夹具；包括：底座、三爪卡盘、支撑柱；所述底座上设置有三爪卡盘，且三爪卡盘的底部通过支撑柱与底座固定连接；所述三爪卡盘的中间设置有真空吸盘，且真空吸盘通过螺母与三爪卡盘相连接；所述三爪卡盘的顶面上依次设置有晶圆贴片、盖板及上盖；所述底座的一侧设置有支撑臂，且支撑臂通过焊接方式与底座相连接；所述螺杆的下端设置有压板；通过对一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具的改进，具有结构合理，使用方便，易于定位贴片，提高成品质量的优点，从而有效的解决了本实用新型提出的问题和不足。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 分路 器晶圆贴片 加工 夹具 | ||
【主权项】：
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