[实用新型]一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具

权利要求书

1.一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，其特征在于：该结构合理，使用方便，易于定位贴片且提高成品质量的于光分路器晶圆贴片加工夹具；包括：底座(1)、三爪卡盘(2)、支撑柱(3)、真空吸盘(4)、螺母(5)、晶圆贴片(6)、盖板(7)、上盖(8)、支撑臂(9)、螺杆(10)、压板(11)；所述底座(1)上设置有三爪卡盘(2)，且三爪卡盘(2)的底部通过支撑柱(3)与底座(1)固定连接；所述三爪卡盘(2)的中间设置有真空吸盘(4)，且真空吸盘(4)通过螺母(5)与三爪卡盘(2)相连接；所述三爪卡盘(2)的顶面上依次设置有晶圆贴片(6)、盖板(7)及上盖(8)；所述底座(1)的一侧设置有支撑臂(9)，且支撑臂(9)通过焊接方式与底座(1)相连接；所述螺杆(10)的下端设置有压板(11)，且螺杆(10)通过螺纹与支撑臂(9)相连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，其特征在于：所述三爪卡盘(2)的卡爪为圆柱状结构设置，且上盖(8)通过贯穿方式与三爪卡盘(2)的卡爪相连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，其特征在于：所述上盖(8)上开设有三处与三爪卡盘(2)卡爪一一对应的通孔，且所述通孔为长圆孔，并且三处通孔呈环形阵列式分布。

4.根据权利要求1所述的一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，其特征在于：所述三爪卡盘(2)的中间设置有用于安放真空吸盘(4)的通孔，且真空吸盘(4)的顶面与三爪卡盘(2)的顶面相对齐。

5.根据权利要求1所述的一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，其特征在于：所述螺母(5)焊接在三爪卡盘(2)底部的中间，且螺母(5)通过螺纹与真空吸盘(4)相连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，其特征在于：所述压板(11)的外形呈圆形状，且压板(11)与三爪卡盘(2)为同轴式结构设置。