[实用新型]一种管式PECVD净化台设备

摘要

本实用新型公开了一种管式PECVD净化台设备，包括主框架、上下料系统、输送滑台和缓存架，缓存架设于主框架内，且缓存架包括多层用于存放石墨舟的缓存位，主框架对应每层缓存位设有反应炉对接窗口，输送滑台设于主框架的底部用于输送石墨舟进出主框架，上下料系统包括三轴移动模组和设于三轴移动模组上的托舟机构，三轴移动模组用于驱动托舟机构与输送滑台对接、用于驱动托舟机构与各缓存位对接以及用于驱动托舟机构穿过反应炉对接窗口进出对应的反应炉内。本实用新型仅通过一个三轴上下料系统，可实现PECVD设备石墨舟进出反应炉、缓存架及输送滑台全部动作，简化了设备结构的复杂性，优化了设备内部操作空间布局，提升石墨舟传送速度。