[实用新型]一种管式PECVD净化台设备

权利要求书

1.一种管式PECVD净化台设备，其特征在于：包括主框架(1)、上下料系统、输送滑台(2)和缓存架(3)，所述缓存架(3)设于主框架(1)内，且缓存架(3)包括多层用于存放石墨舟(4)的缓存位(31)，所述主框架(1)对应每层缓存位(31)设有反应炉对接窗口(11)，所述输送滑台(2)设于主框架(1)的底部用于输送石墨舟(4)进出主框架(1)，所述上下料系统包括三轴移动模组(5)和设于三轴移动模组(5)上的托舟机构(6)，所述三轴移动模组(5)用于驱动托舟机构(6)与输送滑台(2)对接、用于驱动托舟机构(6)与各缓存位(31)对接以及用于驱动托舟机构(6)穿过反应炉对接窗口(11)进出对应的反应炉内。

2.根据权利要求1所述的管式PECVD净化台设备，其特征在于：所述三轴移动模组(5)包括X轴移动模块(51)、Y轴移动模块(52)和Z轴移动模块(53)，所述Y轴移动模块(52)设于Z轴移动模块(53)的滑块上，所述X轴移动模块(51)设于Y轴移动模块(52)的滑块上，所述托舟机构(6)设于X轴移动模块(51)的滑块上。

3.根据权利要求2所述的管式PECVD净化台设备，其特征在于：所述Z轴移动模块(53)设置两组，所述Y轴移动模块(52)设置两组，两组Y轴移动模块(52)分别设于两组Z轴移动模块(53)的滑块上，所述X轴移动模块(51)设于两个Y轴移动模块(52)的滑块上。

4.根据权利要求2或3所述的管式PECVD净化台设备，其特征在于：所述托舟机构(6)包括碳化硅杆(61)、支撑杆(62)和固定座(63)，所述碳化硅杆(61)与支撑杆(62)连接，所述支撑杆(62)与固定座(63)连接，所述固定座(63)与X轴移动模块(51)的滑块连接，所述碳化硅杆(61)与支撑杆(62)均与X轴移动模块(51)平行。

5.根据权利要求4所述的管式PECVD净化台设备，其特征在于：所述固定座(63)设有两个安装孔(631)，所述支撑杆(62)一端穿设于两个安装孔(631)内，所述支撑杆(62)位于安装孔(631)内的表面设有多个调节块(64)，所述调节块(64)上设有螺纹孔，所述固定座(63)上对应每个调节块(64)设有调整螺栓(65)，所述调整螺栓(65)伸入安装孔(631)内与调节块(64)的螺纹孔配合。

6.根据权利要求5所述的管式PECVD净化台设备，其特征在于：所述调节块(64)为楔块。

7.根据权利要求4所述的管式PECVD净化台设备，其特征在于：所述碳化硅杆(61)与支撑杆(62)通过至少一个卡箍(66)连接。