[实用新型]一种MEMS传感器有效
| 申请号： | 201922072681.3 | 申请日： | 2019-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN211847141U | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 孙传彬;陈文礼;陈文祥;公衍刚;战毅;董国强;牟晓宇;于晓辉 | 申请（专利权）人： | 烟台睿创微纳技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王云晓 |
| 地址： | 264006 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS传感器，在封盖晶圆朝向传感器晶圆一侧表面设置有吸气剂；吸气剂位于封盖晶圆与传感器晶圆之间的空腔内，封盖晶圆设置有对应空腔的电极通孔，电极通孔内设置有激活电极，激活电极与吸气剂相接触，封盖晶圆对应任一所述空腔设置有至少两个电极通孔。在MEMS传感器外侧可以通过位于电极通孔内的激活电极向吸气剂供电，在电流流过吸气剂时会将电能转换为热能从而激活吸气剂，从而避免激活吸气剂时对传感器结构造成的影响。通过设置激活电极，可以多次激活吸气剂，以保证MEMS传感器内的真空度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 传感器 | ||
【主权项】：
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