[实用新型]一种镀膜载具及其定位结构有效
申请号: | 201922072575.5 | 申请日: | 2019-11-27 |
公开(公告)号: | CN211036092U | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 张继宇;李颖;杨国文;赵卫东;张艳春;刘中华;沈佳铌 | 申请(专利权)人: | 度亘激光技术(苏州)有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/34 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州市苏州工业*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种镀膜载具及其定位结构,该镀膜载具包括承载部及转轴、工件盘,其特征在于:所述承载部由转轴的旋转轴线区分为两侧;所述承载部一侧的外周面上设置有定位部,且承载部上设置有配重部,该配重部偏心设置于承载部上定位部所在的一侧,以使得承载部重心偏向定位部所在一侧;所述工件盘上对应于镀膜载具开设有安装缺口,该安装缺口沿工件盘的轴向贯穿所述工件盘;所述工件盘上对应于转轴开设有定位孔,承载部通过转轴转动设置于所述工件盘上,所述镀膜载具在工件盘上具有两个工位;所述工件盘上对应于两个工位上所述定位部均开设有定位槽。本实用新型的镀膜载具的重心偏向定位部一侧,在光学镀膜机工作过程中,保证了镀膜载具在镀膜过程中的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 镀膜 及其 定位 结构 | ||
【主权项】:
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