[实用新型]一种镀膜载具及其定位结构有效
申请号: | 201922072575.5 | 申请日: | 2019-11-27 |
公开(公告)号: | CN211036092U | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 张继宇;李颖;杨国文;赵卫东;张艳春;刘中华;沈佳铌 | 申请(专利权)人: | 度亘激光技术(苏州)有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/34 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省苏州市苏州工业*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 镀膜 及其 定位 结构 | ||
1.一种镀膜载具,该镀膜载具(1)包括承载部及转轴,其特征在于:
所述承载部(11)由转轴的旋转轴线区分为两侧;
所述承载部(11)一侧的外周面上设置有定位部,且承载部(11)上设置有配重部,该配重部偏心设置于承载部(11)上定位部所在的一侧,以使得承载部(11)重心偏向定位部所在一侧。
2.根据权利要求1所述的镀膜载具,其特征在于:所述承载部(11)的主体为一中空的框状构件。
3.根据权利要求1所述的镀膜载具,其特征在于:所述定位部为凸设在承载部(11)外周面的至少一个定位凸台(13)。
4.根据权利要求1所述的镀膜载具,其特征在于:所述转轴伸出承载部(11)外,所述配重部为偏心设置在转轴上的手柄(14)。
5.根据权利要求1所述的镀膜载具,其特征在于:对应于所述承载部(11)的中空区域设置有盖板(2),盖板(2)可拆卸设置在承载部(11)上。
6.根据权利要求1所述的镀膜载具,其特征在于:所述转轴包括前轴(121)和后轴(122),前轴(121)和后轴(122)同轴且间隔布置。
7.根据权利要求6所述的镀膜载具,其特征在于:所述前轴(121)由其根部至端部为渐缩结构。
8.一种镀膜载具的定位结构,其特征在于:
包括权利要求1-7中任一项所述的镀膜载具(1)及工件盘(3);
所述工件盘(3)上对应于镀膜载具(1)开设有安装缺口(31),该安装缺口(31)沿工件盘(3)的轴向贯穿所述工件盘(3);
所述工件盘(3)上对应于转轴开设有定位孔(311),承载部(11)通过转轴转动设置于所述工件盘(3)上,所述镀膜载具在工件盘(3)上具有两个工位;
所述工件盘(3)上对应于两个工位上所述定位部均开设有定位槽(312)。
9.根据权利要求8所述的定位结构,其特征在于:所述安装缺口(31)的数量为至少一个,当安装缺口(31)数量为多个时,各安装缺口(31)沿工件盘(3)的周向间隔布置。
10.根据权利要求8所述的定位结构,其特征在于:所述工件盘(3)上对应于承载部(11)设置有至少两个转动支撑点。
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