[实用新型]一种镀膜载具及其定位结构有效

专利信息
申请号: 201922072575.5 申请日: 2019-11-27
公开(公告)号: CN211036092U 公开(公告)日: 2020-07-17
发明(设计)人: 张继宇;李颖;杨国文;赵卫东;张艳春;刘中华;沈佳铌 申请(专利权)人: 度亘激光技术(苏州)有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/34
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏州市苏州工业*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 镀膜 及其 定位 结构
【权利要求书】:

1.一种镀膜载具,该镀膜载具(1)包括承载部及转轴,其特征在于:

所述承载部(11)由转轴的旋转轴线区分为两侧;

所述承载部(11)一侧的外周面上设置有定位部,且承载部(11)上设置有配重部,该配重部偏心设置于承载部(11)上定位部所在的一侧,以使得承载部(11)重心偏向定位部所在一侧。

2.根据权利要求1所述的镀膜载具,其特征在于:所述承载部(11)的主体为一中空的框状构件。

3.根据权利要求1所述的镀膜载具,其特征在于:所述定位部为凸设在承载部(11)外周面的至少一个定位凸台(13)。

4.根据权利要求1所述的镀膜载具,其特征在于:所述转轴伸出承载部(11)外,所述配重部为偏心设置在转轴上的手柄(14)。

5.根据权利要求1所述的镀膜载具,其特征在于:对应于所述承载部(11)的中空区域设置有盖板(2),盖板(2)可拆卸设置在承载部(11)上。

6.根据权利要求1所述的镀膜载具,其特征在于:所述转轴包括前轴(121)和后轴(122),前轴(121)和后轴(122)同轴且间隔布置。

7.根据权利要求6所述的镀膜载具,其特征在于:所述前轴(121)由其根部至端部为渐缩结构。

8.一种镀膜载具的定位结构,其特征在于:

包括权利要求1-7中任一项所述的镀膜载具(1)及工件盘(3);

所述工件盘(3)上对应于镀膜载具(1)开设有安装缺口(31),该安装缺口(31)沿工件盘(3)的轴向贯穿所述工件盘(3);

所述工件盘(3)上对应于转轴开设有定位孔(311),承载部(11)通过转轴转动设置于所述工件盘(3)上,所述镀膜载具在工件盘(3)上具有两个工位;

所述工件盘(3)上对应于两个工位上所述定位部均开设有定位槽(312)。

9.根据权利要求8所述的定位结构,其特征在于:所述安装缺口(31)的数量为至少一个,当安装缺口(31)数量为多个时,各安装缺口(31)沿工件盘(3)的周向间隔布置。

10.根据权利要求8所述的定位结构,其特征在于:所述工件盘(3)上对应于承载部(11)设置有至少两个转动支撑点。

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