[实用新型]化学气相沉积系统

摘要

一种化学气相沉积系统包括承载台、喷洒头、及网筛。承载台用以承载晶圆；喷洒头具有多个喷孔且连接等离子体产生部；网筛设置于喷洒头与承载台之间，并相对于喷洒头的喷孔。其中，由射频电源提供射频电压，而于喷洒头与承载台之间产生电场，使得等离子体产生部产生等离子体，由喷孔喷洒出等离子体，且于喷洒头与承载台之间的电场是由网筛所隔离，采用可隔离电场的网筛，电场不会全部直接经过晶圆，仅有低等离子体碰触晶圆表面，以对晶圆的等离子体轰击，避免晶圆的外延晶格表面遭受破坏。