[实用新型]一种等离子刻蚀机反应室有效
| 申请号： | 201922052843.7 | 申请日： | 2019-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN211016991U | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 廖海涛;孙文彬 | 申请（专利权）人： | 无锡邑文电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/305;G10K11/162 |
| 代理公司： | 常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙) 32325 | 代理人： | 金辉 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶体硅太阳能电池生产技术领域，公开了一种等离子刻蚀机反应室，包括反应室外壳、设置在反应室外壳底部的电动机、连接在电动机主轴上的旋转平台以及固接在进气法兰内部的陶瓷板，所述反应室外壳的后表面固接有蓄电池，且反应室外壳和反应室内壳之间还设置有降噪组件，所述真空泵接口的内部设置有密封组件。本实用新型通过降噪组件可以降低反应室在工作过程中产生的噪音，降低了噪音对周围环境造成的污染，同时采用多层式的降噪材料，使得降噪效果大大提升，通过密封组件还可以便于使用者通过手动的方式将真空泵接口进行打开和关闭，使真空泵接口处不易出现气体渗漏现象，从而保障了该反应室的正常使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 刻蚀 反应 | ||
【主权项】：
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